[实用新型]曝光机的平行光形成装置有效
申请号: | 201420718013.8 | 申请日: | 2014-11-26 |
公开(公告)号: | CN204203630U | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 范金刚;蓝学军 | 申请(专利权)人: | 深圳市博宇佳瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人: | 皮发泉 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 平行 形成 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种曝光机,尤其涉及一种曝光机的平行光形成装置。
背景技术
现有市面上使用的曝光机,其主要采用以下两种方式形成平行光。
第一种是:利用位于菲涅尔透镜焦点上的光源经菲涅尔透镜折射形成平行光的原理产生近似平行光,平行光相对于曝光面的入射角一般不大于4度,有一定的斜射现象,且菲涅尔透镜会对UV紫外光的传播有一定的阻碍作用,对光的有效利用有影响,而且大幅面高精度的菲涅尔透镜一般依赖进口,造成成本极高。
第二种是:利用位于大抛物面镜焦点上的点光源经大抛物面镜反射形成平行光的原理产生近似平行光,平行光相对于曝光面的入射角小于1.5度。此种装置结构复杂、制造成本高、清洁保养消耗工时较多而且光源与被曝光物距离较远造成曝光能量损耗比较大;被曝光物得到的光量分布均匀性取决于反射到抛物面镜的光量是否均匀,且这种装置也多依赖进口,造成成本极高。
因此上述的平行光形成方式存在以下缺陷:1)大抛物镜保养较困难的问题;2)光能量利用率较低的问题;3)已有平行光光线解析度还不够高。
实用新型内容
针对上述技术中存在的不足之处,本实用新型提供一种结构简单、易于保养、光线穿透力强及光线平行度高的曝光机的平行光形成装置。
为实现上述目的,本实用新型提供一种曝光机的平行光形成装置,包括灯箱、抛物镜和曝光灯;所述灯箱的顶端安装有用于放置被曝光物的隔热玻璃,所述抛物镜和曝光灯均安装在灯箱内,所述曝光灯位于抛物镜的焦点位置上,所述曝光灯点亮后其所发出的光经抛物镜的反射后形成平行光从隔热玻璃中射出;该灯箱内还安设有表面经阳极氧化处理且位于曝光灯正上方的散射光遮光器,所述散射光遮光器吸收并遮挡曝光灯未经抛物镜反射的散射光。
其中,所述曝光灯的两端分别通过高度可调的曝光灯固定座与灯箱的底端固定连接。
其中,每个曝光灯固定座均包括弹簧、高度调节板和连接杆;所述弹簧的一端固定在灯箱底端上,所述弹簧的另一端与高度调节板的底端固定连接,所述高度调节板的顶端通过连接杆与曝光灯的端头固定连接。
其中,该装置还包括安装在灯箱一端外且与灯箱相通的散热风机,所述灯箱的另一端外安设有与灯箱相通的排风管,所述散热风机吹出的风经过曝光灯表面从排风管内排出。
其中,该装置还包括与灯箱的顶端可拆卸连接的罩盖,所述罩盖与灯箱固定连接后围合成一腔体,所述隔热玻璃置于该腔体内。
本实用新型的有益效果是:与现有技术相比,本实用新型提供的曝光机的平行光形成装置,曝光灯点亮后其所发出的光经抛物镜的反射后形成平行光从隔热玻璃中射出,由于曝光灯在抛物镜焦点位置上的,可保证曝光灯最大限度的接近被曝光物,光线的穿透力更强,减少曝光能量损失并且有效减少光线在传播过程中传播介质过多而引起平行光入射角变大的情形,从而保证的平行光较高的光线解像度;同时,散射光遮光器吸收并遮挡曝光灯未经抛物镜反射的散射光,防止散射光对平行光的影响。本实用新型具有结构简单、易于保养、光线穿透力强及光线平行度高等特点。
附图说明
图1为本实用新型的曝光机的平行光形成装置的主视图;
图2为图1的侧视图。
主要元件符号说明如下:
10、灯箱 11、抛物镜
12、曝光灯 13、隔热玻璃
14、散射光遮光器 15、曝光灯固定座
16、散热风机 17、排风管
18、罩盖 19、平行光
151、弹簧 152、高度调节板
153、连接杆。
具体实施方式
为了更清楚地表述本实用新型,下面结合附图对本实用新型作进一步地描述。
请参阅图1-2,本实用新型提供的曝光机的平行光形成装置,包括灯箱10、抛物镜11和曝光灯12;灯箱10的顶端安装有用于放置被曝光物的隔热玻璃13,抛物镜11和曝光灯12均安装在灯箱10内,曝光灯12位于抛物镜11的焦点位置上,曝光灯12点亮后其所发出的光经抛物镜11的反射后形成平行光从隔热玻璃13中射出;该灯箱10内还安设有表面经阳极氧化处理且位于曝光灯12正上方的散射光遮光器14,散射光遮光器14吸收并遮挡曝光灯12未经抛物镜11反射的散射光。
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