[实用新型]校正盘、工作盘的自动移摆装置有效
申请号: | 201420720687.1 | 申请日: | 2014-11-27 |
公开(公告)号: | CN204382016U | 公开(公告)日: | 2015-06-10 |
发明(设计)人: | 陈健;陈福恭;许乔;王健 | 申请(专利权)人: | 上海中晶企业发展有限公司 |
主分类号: | B24B13/02 | 分类号: | B24B13/02 |
代理公司: | 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 | 代理人: | 李琳 |
地址: | 201802 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 校正 工作 自动 装置 | ||
1.校正盘、工作盘的自动移摆装置,包括抛光盘(1)、设于抛光盘上的工件盘(7),其特征是:
有一个驱动轮机构(10)与一个从动轮机构(6),所述驱动轮机构(10)中的驱动轮由电机(14)带动,并于一侧与所述工件盘(7)啮合,所述从动轮机构(6)中的从动轮于另一侧与所述工件盘(7)啮合;
在所述抛光盘(1)的上方,沿其半径方向设有一根横梁(5),横梁(5)上设有水平丝杠(4)、水平导轨(9),所述水平丝杠(4)由丝杠电机(13)带动,并驱动一拖板(8)沿所述水平导轨(9)往复移动;
所述驱动轮机构(10)和从动轮机构(6)固设在所述拖板(8)上。
2.根据权利要求1所述的校正盘、工作盘的自动移摆装置,其特征在于:所述丝杠电机(13)采用伺服电机或步进电机。
3.校正盘、工作盘的自动移摆装置,包括抛光盘(1)、设于抛光盘上的校正盘(27),其特征是:
有一个驱动轮机构(30)与一个从动轮机构(26),所述驱动轮机构(30)中的驱动轮由电机(34)带动,并于一侧与所述校正盘(27)啮合,所述从动轮机构(26)中的从动轮于另一侧与所述校正盘(27)啮合;
在所述抛光盘(1)的上方,沿其半径方向设有一根横梁(25),横梁(25)上设有水平丝杠(24)、水平导轨(29),所述水平丝杠(24)由丝杠电机(33)带动,并驱动一拖板(28)沿所述水平导轨(29)往复移动;
所述驱动轮机构(30)和从动轮机构(26)固设在所述拖板(28)上;
一提升机构(32)固设在所述拖板(28)上;所述校正盘(27)的中心与一柔性轴(32a)相连,该柔性轴枢设于所述提升机构(32)上。
4.根据权利要求3所述的校正盘、工作盘的自动移摆装置,其特征在于:所述丝杠电机(33)采用伺服电机或步进电机。
5.根据权利要求3所述的校正盘、工作盘的自动移摆装置,其特征在于:所述提升机构(32)由垂直丝杠、垂直导轨与拖板构成。
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