[实用新型]异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台

权利要求书

1.异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：包括X向基座、Y向基座和一体化平台；

所述一体化平台包括宏动外框架和微动平台，所述微动平台包括X向微平台、X向弹片组、Y向微平台、Y向弹片组和Y向微驱动，具有弹性的所述X向弹片组设置于所述X向微平台的两侧，其一端连接于所述宏动外框架的内侧壁，另一端连接于所述X向微平台；具有弹性的所述Y向弹片组设置于所述Y向微平台的两侧，其一端连接于所述X向微平台的内侧壁，另一端连接于所述Y向微平台；所述X向弹片组和Y向弹片组相互垂直，用于放置工件的工作平台刚性连接于所述Y向微平台；

所述X向基座设置有X向导轨、X向滑块和X向U型直线电机，所述X向滑块可滑动于所述X向导轨，所述X向U型直线电机包括X向定子、宏动外框架动子、X向微动平台动子和连接件，X向运动和X向微运动共用同一个所述X向定子；

所述宏动外框架固定安装于所述X向滑块，并通过所述连接件连接于所述宏动外框架动子，由所述宏动外框架动子、所述X向微动平台动子和所述X向定子控制其滑动于所述X向导轨实现X向宏运动；

所述Y向微驱动包括Y向微音圈电机和Y向微连接板，所述Y向微音圈电机固定于所述Y向微连接板，所述Y向微连接板固定于所述X向微平台的底部，所述Y向微平台由所述Y向微音圈电机控制其在Y向的微运动；

所述Y向微连接板的底部通过连接件于所述X向微动平台动子，并由所述X向微动平台动子控制其在所述X向定子在X向的微运动；

所述Y向基座设置有Y向导轨、Y向滑块和Y向平板直线电机，所述Y向导轨设置在所述Y向基座表面上的两侧，所述Y向滑块可滑动于所述Y向导轨，所述Y向平板直线电机安装于任一侧的所述Y向导轨上，所述X向基座在X方向上的两侧通过固定于所述Y向滑块，并通过宏动连接件连接于所述Y向平板直线电机的动子，并由所述Y向平板直线电机控制其滑动于所述Y向导轨实现Y向宏运动。

2.根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：所述宏动外框架动子设置有两个，分别设置在所述宏动外框架的进给方向的两端。

3. 根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：所述X向微平台、所述X向弹片组、所述Y向微平台、所述Y向弹片组、所述工作平台和所述宏动外框架为一体式结构。

4. 根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：所述的X向弹片组和Y向弹片组中各自的弹片均为平行布置，且弹片的长度方向分别垂直于X向微平台和Y向微平台的进给方向。

5. 根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：所述宏动外框架在其与所述X向弹片组的相连接处设置有X向槽，使所述宏动外框架的内侧形成较薄的可变形的X向微平台弹性件。

6. 根据权利要求5所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：所述宏动外框架设有调节X向微平台弹性件变形度的X向频率调节机构。

7. 根据权利要求6所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：所述X向频率调节机构为穿过所述X向槽的螺栓，其两端分别连接于所述X向槽的两侧。

8. 根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：所述Y向微平台在其内侧转角处设置有圆弧形内嵌式孔槽。

9. 根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：在所述X向微平台和所述Y向微平台的进给方向的端部分别设置有X向位移传感器和Y向位移传感器。

10. 根据权利要求9所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：所述X向位移传感器或所述Y向位移传感器为差动电容传感器或光电传感器。