[实用新型]硅料淬火装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅破碎领域，尤其涉及一种硅料淬火装置。

背景技术

目前硅料破碎装置中，通常需要先对放置有硅料的坩埚进行加热，使得硅料达到高温，然后需要将坩埚中的硅料取出进行淬火工艺。目前常用硅料淬火装置包括一个可以收容高温硅料的容器，进行淬火工艺时，需要先从高温坩埚中取出高温硅料，并将高温硅料放置入容器中，以使硅料与坩埚分离，再向容器中注入水，进行淬火工艺，但是从坩埚取出硅料时，高温硅料会在容器中与杂质起反应，或者掺入杂质，使得硅料受到污染，在硅料淬火时，进一步使容器中的杂质与硅料进行反应，或者混合杂质，影响硅料的电阻率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种避免多晶硅的污染的硅料淬火装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅料淬火装置，其中，所述硅料淬火装置包括支架、翻转机构、料斗和水箱，所述支架顶端包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部固定连接所述第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支持部共同支撑所述翻转机构，所述翻转机构包括翻转平台，所述翻转平台转动连接于所述第二支撑部，所述翻转平台的转动轴轴向水平设置，所述翻转平台可以相对靠近或远离所述第一支撑部翻转，所述翻转平台上可拆卸连接所述料斗，所述料斗包括坩埚，所述坩埚内用于盛放高温硅料，所述水箱相对所述支架固定，所述水箱开口端位于所述第二支撑部远离所述第一支撑部一侧，所述水箱内放置用于浸泡所述高温硅料的水，以实现所述翻转平台向所述水箱翻转后，所述坩埚内硅料被倒入所述水箱内的水中。

其中，所述料斗还包括箱体，所述箱体开口方向与所述坩埚开口方向相同，所述箱体可拆卸连接所述翻转平台，当所述坩埚固定于所述翻转平台时，所述坩埚收容于所述箱体内，并固定于所述箱体。

其中，所述箱体开口方向平行于所述翻转平台台面，并朝向所述水箱一侧，所述箱体开口端设置门和门锁，当所述坩埚内盛装高温硅料时，所述门锁锁住所述门；当所述坩埚内高温硅料向所述水箱内倾倒时，所述门锁打开所述门。

其中，所述箱体转动连接所述翻转平台，所述箱体的转动方向与所述翻转平台的转动方向相同。

其中，所述箱体为不锈钢框架。

其中，所述箱体内内设置保温层。

其中，所述翻转机构还包括驱动器，所述驱动器安装于所述支架上，所述驱动器驱动所述翻转平台转动。

其中，所述驱动器为电机。

其中，所述支架由多根不锈钢杆件构成矩形块状。

其中，所述水箱内设置水管，所述水管向所述水箱内输水。

本实用新型提供的硅料淬火装置通过所述翻转平台可以相对靠近或远离所述第一支撑部翻转，所述翻转平台上可拆卸连接所述料斗，所述料斗内放置坩埚，从而实现在对硅料加热后，高温硅料放置于坩埚中，坩埚通过翻转平台翻转向所述水箱中倾倒硅料，从而实现硅料的淬火，避免了所述硅料被污染，同时防止硅料的高低温骤变，使得多晶硅淬火效率提高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是硅料淬火装置的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1，本实用新型实施方式提供的一种硅料淬火装置100。所述硅料淬火装置100包括支架10、翻转机构20、料斗30和水箱40。

所述支架10顶端包括第一支撑部11和第二支撑部12，所述第一支撑部固定连接所述第二支撑部12，所述第一支撑部11和所述第二支持部12共同支撑所述翻转机构20。

所述翻转机构20包括翻转平台21，所述翻转平台21转动连接于所述第二支撑部12。所述翻转平台21的转动轴轴向水平设置，所述翻转平台21可以相对靠近或远离所述第一支撑11部翻转，所述翻转平台21上可拆卸连接所述料斗30。

所述料斗30包括坩埚31，所述坩埚31内用于盛放高温硅料。所述水箱40固定于所述支架10一侧，所述水箱40开口端位于所述第二支撑部12远离所述第一支撑部11一侧，所述水箱40内放置用于浸泡所述高温硅料的水，以实现所述翻转平台21向所述水箱40翻转后，所述坩埚31内硅料被倒入所述水箱40内的水中。