[实用新型]用于单晶粘料机的磁性固定卡盘有效
申请号: | 201420725005.6 | 申请日: | 2014-11-27 |
公开(公告)号: | CN204265892U | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 王志勇;吴涛;吕思迦;杨建勇;谷元超;刘建勇 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 单晶粘料机 磁性 固定 卡盘 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于单晶粘料机的磁性固定卡盘,其特征在于:包括底座(5)、固定连接单晶托的圆板形的托盘(1)和用于磁化托盘(1)的磁体(2),所述托盘(1)的一侧圆端面上沿圆外周垂直一圈凸缘,所述磁体(2)固定连接在托盘(1)的另一侧圆端面上,磁体(2)和托盘(1)通过支撑架(4)固定设置在底座(5)上;所述托盘(1)的凸缘上开设有定位孔(7)。
2.根据权利要求1所述的用于单晶粘料机的磁性固定卡盘,其特征在于:所述磁体(2)上设置开关(3)。
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