[实用新型]一种MOCVD旋转式密封门

说明书

技术领域

本实用新型涉及MOCVD设备制造技术领域，更具体地涉及一种用于MOCVD设备的旋转式密封门。

背景技术

MOCVD全称金属有机化合物化学气相沉淀，是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。目前全球MOCVD设备制造商主要有两家，分别是德国的AIXTRON公司和美国的VEECO公司，其中AIXTRON公司大约占60-70%的国际市场份额，VEECO公司占30-40%。在MOCVD设备技术领域中几乎所有核心技术均被上述两家公司占有垄断，国内还没有这一领域的核心专利和成熟的设计技术。我国的MOCVD设备主要依赖于进口，随着国家能源的紧缺和半导体照明工程的发展，国产MOCVD设备的研发工作的重要性愈加凸显。

目前，MOCVD设备中都配有载片盘暂存区，载片盘用于送入、送出石墨物料盘，载片盘暂存区成为操作室与反应室之间载片盘的周转站。载片盘暂存区为真空密闭的暂存腔室，暂存腔室设有后门，通常用于在设备进行调试或维修时开启使用，后门采用固定的密封门板来实现真空密封。现有的后门固定密封结构非常不方便开启使用，每次开启、关闭后门都很费力，从而增加了MOCVD设备的调试、维修难度，同时也影响了生产效率。

因此，为了便于调试、维修MOCVD设备，如何设计一种方便开启的MOCVD密封门，是业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服上述现有技术的不足，提供一种MOCVD旋转式密封门，既能实现暂存腔室的真空密封又能方便的开启，非常利于MOCVD设备的使用、调试及维修。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：一种MOCVD旋转式密封门，包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室，暂存腔室与门扇相接的侧面为门框，还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁，所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。

所述暂存腔室的上端密封设有盖板、与门扇相对的侧面开设有用于机械手传输石墨物料盘的通口。

所述铰链包括固定在门框侧边的铰链座、及贯穿铰链座的铰链轴，所述门扇边上对应铰链轴设有带有轴孔的凸起，铰链轴安装在轴孔内且门扇以其为转轴旋转。

所述搭扣门锁包括水平设置的把手、与把手朝向门扇边缘的一端活动连接的锁舌、及相对应门框上设置的具有锁舌收容腔的固定扣。

所述铰链设在门扇的竖直侧边上或者水平底边上。

所述铰链优选设置两个，所述搭扣门锁也优选设置两个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：针对暂存腔室设计新的密封方式，将原来固定的密封门板增加铰链连接，实现可活动的旋转门，再选择合适的具有一定压力的搭扣门锁结构，对旋转门施加初始密封所需要的压力，从而构成了旋转式密封门，在能够满足真空密封的同时，又能够方便的开启使用，减少MOCVD设备调试时间，减轻调试使用人员的劳动强度，生产效率也随之提高。

附图说明

图1为本实用新型的正面结构示意图；

图2为图1中A-A的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述。

请参见图1至图2，本实用新型涉及一种MOCVD旋转式密封门，包括门扇1、铰链、搭扣门锁、及暂存腔室8，门扇1的一边通过设置铰链与暂存腔室8活动连接，门扇1的另一边再设置具有一定压力的搭扣门锁，同时实现真空暂存腔室8的密封。

暂存腔室8设于门扇1的内侧，且其与门扇1相接的侧面为门框，门扇1竖直覆盖在门框上，门扇1为具有一定厚度的铝合金材质门板，暂存腔室8的上端密封设有盖板，盖板是为了加工、装配需要而设置，暂存腔室8与门扇相对的侧面开设有通口，用于机械手把石墨物料盘传输进入暂存腔室。

铰链包括铰链座2及铰链轴3，铰链座2突出设置在门框的底边上，铰链座2采用螺纹固定安装，根据暂存腔室8的大小，铰链座2可以设置一个或多个，本实施例中铰链座优选设置两个，铰链轴3水平贯穿设置在铰链座2突出的部分上，其中部分铰链轴3裸露在外，门扇1的底边上设有连接用的凸起，在凸起上开有轴孔，铰链轴3裸露在外的部分配合安装在轴孔内，门扇1以铰链轴3为转轴旋转打开、关闭，使用非常方便。