[实用新型]微机电环形可变电容和三轴微机电陀螺仪

权利要求书

1.一种微机电的环形可变电容，其特征在于，包括：

基板；

位于所述基板上的环形上极板，其中心为原点；

四个下极板；

以及支撑结构；

所述环形上极板通过支撑结构悬置于所述下极板的上方，所述支撑结构位于环形可变电容的环孔内并且与所述环形上极板的内沿连接，所述支撑结构在原点处通过第一锚点固定于基板上；

所述四个下极板固定在基板上并且正对所述环形上极板，分为两组：第一组下极板沿x轴在原点的两侧对称分布且组内的两个下极板形状相同，第二组下极板沿y轴在原点的两侧对称分布且组内的两个下极板形状相同。

2.如权利要求1所述的环形可变电容，其特征在于：

所述环形上极板为圆环形状或方环形状。

3.如权利要求1所述的环形可变电容，其特征在于：

所述下极板排布组成的形状与所述环形上极板的形状相匹配。

4.如权利要求1所述的环形可变电容，其特征在于：

所述支撑结构包括一圆环、三条连接梁、以及一条支撑梁；

两条所述连接梁沿y轴分布，第三条所述连接梁沿x轴分布，所述连接梁的一端与所述圆环连接，另一端与所述环形上极板的内沿连接；

所述支撑梁沿x轴分布，所述支撑梁的一端连接所述圆环，另一端在原点处通过所述第一锚点固定在基板上；

其中，所述第三条连接梁和所述支撑梁位于x轴的不同方向。

5.如权利要求1所述的环形可变电容，其特征在于：

所述支撑结构包括一圆环、两连接梁、以及两条支撑梁；

两条所述连接梁沿y轴分布，所述连接梁的一端与所述圆环连接，另一端与所述环形上极板的内沿连接；

两条所述支撑梁沿x轴分布，所述支撑梁的一端连接所述圆环，另一端在原点处通过所述第一锚点固定在基板上。

6.如权利要求1所述的环形可变电容，其特征在于：

所述支撑结构包括同心的内圆环和外圆环、两条内环支撑梁、两条内外环连接梁、以及四条外环连接梁；

所述四条外环连接梁的一端分别与外圆环连接，另一端分别与所述环形上极板的内沿连接；所述外环连接梁分成两个一组，其中一组沿x轴分布，另一组沿y轴分布；

所述两条内环支撑梁的一端分别与内圆环连接，另一端通过所述第一锚点固定于所述基板上；

所述两条内外环连接梁的一端分别与内圆环连接，另一端分别与外圆环连接；

所述内环支撑梁沿y轴分布且所述内外环连接梁沿x轴分布，或者，所述内环支撑梁沿x轴分布且所述内外环连接梁沿y轴分布。

7.如权利要求1所述的环形可变电容，其特征在于：

所述环形上极板和所述支撑结构为一体结构。

8.一种三轴微机电陀螺仪，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的环形可变电容，所述第一组下极板与其对应部分的环形上极板相配合构成一组第一检测电容，所述第二组下极板与其对应部分的环形上极板相配合构成另一组第一检测电容；

还包括：

两组驱动电容，位于所述环形可变电容的外侧且沿y轴在原点的两侧对称分布，每组所述驱动电容都包括互相配合的可动驱动电极和固定驱动电极，其中所述可动驱动电极与所述外框架的外侧边连接；

两组第二检测电容，位于所述环形可变电容的外侧且沿x轴在原点的两侧对称分布，每组所述第二检测电容都包括互相配合的可动检测电极和固定检测电极，其中所述可动检测电极与所述外框架的外侧边连接；

联动部，分别与所述可动驱动电极、所述可动检测电极、以及所述环形上极板的外沿连接。

9.如权利要求8所述的三轴微机电陀螺仪，其特征在于：

所述可动驱动电极和固定驱动电极为梳齿状电极。

10.如权利要求8所述的三轴微机电陀螺仪，其特征在于：

所述可动检测电极和固定检测电极为梳齿状电极。