[实用新型]直拉法单晶炉

权利要求书

1.直拉法单晶炉，包括上炉膛(1)、下炉膛(2)，上炉膛(1)设置在下炉膛(2)上方且上炉膛(1)通过隔离阀(3)固定在下炉膛(2)顶部，所述上炉膛(1)顶部设置有籽晶旋转提升机构(4)，所述下炉膛(2)内设置有保温筒(5)，所述保温筒(5)内设置有石墨坩埚(6)，所述石墨坩埚(6)内设有石英坩埚(7)，石墨坩埚(6)外侧设置有加热器(8)，加热器(8)位于保温筒(5)内，所述加热器(8)通过加热电极(9)固定在下炉膛(2)底部，下炉膛(2)的顶部连接有氩气管(10)，所述氩气管(10)穿过下炉膛(2)伸入到下炉膛(2)内，所述下炉膛(2)的下部设置有真空抽口(11)，所述真空抽口(11)上连接有排放管(12)，排放管(12)末端连接有真空泵(13)，真空泵(13)的进口与排放管(12)的出口相连，所述石英坩埚(7)上方设置有籽晶夹持装置(14)，所述籽晶夹持装置(14)通过传动杆(15)与籽晶旋转提升机构(4)相连，所述石墨坩埚(6)底部设置有坩埚旋转顶升机构(16)，所述石墨坩埚(6)与坩埚旋转顶升机构(16)设置有圆形的石墨托板(17)，其特征在于：所述下炉膛(2)底部设置有吸气板(21)，所述吸气板(21)水平设置，所述吸气板(21)为夹层结构，包括第二上层板(211)与第二下层板(212)，所述第二上层板(211)与第二下层板(212)之间密封形成第二夹层空间(213)，所述真空抽口(11)与第二夹层空间(213)连通，所述第二上层板(211)上设置有多个第二透气孔(214)，所述多个第二透气孔(214)在第二上层板(211)上均布设置。

2.如权利要求1所述的直拉法单晶炉，其特征在于：所述真空泵(13)的进口与真空抽口(11)之间设置有旁路管(22)，所述旁路管(22)上设置有用于使旁路管(22)导通或关闭的旁通阀(23)，所述排放管(12)上设置有用于使排放管(12)导通或关闭的工艺阀(24)，所述旁路管(22)的内径为排放管(12)内径的1/3-1/2。

3.如权利要求2所述的直拉法单晶炉，其特征在于：所述工艺阀(24)、旁通阀(23)均为电磁阀，所述工艺阀(24)上连接有第一触发式开关(25)，所述旁通阀(23)上连接有第二触发式开关(26)，所述下炉膛(2)内设置有真空计(27)，还包括控制器(28)，所述第一触发式开关(25)、第二触发式开关(26)、真空计(27)分别与控制器(28)电连接。

4.如权利要求3所述的直拉法单晶炉，其特征在于：所述氩气管(10)上设置有气体加热装置(29)，所述气体加热装置(29)包括柱状基体(291)，所述柱状基体(291)内设置有圆柱形的气体加热空腔(292)，所述柱状基体(291)上设置有与气体加热空腔(292)连通的进气口与出气口，所述进气口通过气管与氩气源(293)连通，所述出气口与氩气管(10)连通，所述柱状基体(291)的表面缠绕有加热丝(294)，所述加热丝(294)连接在电源(295)上。

5.如权利要求4所述的直拉法单晶炉，其特征在于：所述加热丝(294)与电源(295)之间设置有温控表(296)，所述气体加热空腔(292)内设置有温度探头(297)，所述温度探头(297)与温控表(296)相连接。

6.如权利要求5所述的直拉法单晶炉，其特征在于：所述坩埚旋转顶升机构(16)包括固定在石墨托板(17)底部的旋转轴(161)，所述旋转轴(161)上固定有旋转齿轮(162)，所述旋转轴(161)底部设置有底座(163)，所述旋转轴(161)通过轴承固定在底座(163)上，所述底座(163)上设置有驱动电机(164)，所述驱动电机(164)的输出轴上设置有驱动齿轮(165)，所述驱动齿轮(165)与旋转齿轮(162)互相啮合，所述底座(163)下方设置有用于使底座(163)上下移动的升降装置(166)。

7.如权利要求6所述的直拉法单晶炉，其特征在于：所述升降装置(166)为液压气缸。

8.如权利要求7所述的直拉法单晶炉，其特征在于：所述保温筒(5)与下炉膛(2)的内壁之间设置有保温毡(30)，所述保温筒(5)的内壁上涂有热辐射反射层(31)。