[实用新型]微机电可变形结构和三轴多自由度微机电陀螺仪

权利要求书

1.一种微机电可变形结构，其特征在于，包括：

基板；

位于所述基板上的同中心的三层矩形框架，从内向外依次为内框架、包围所述内框架的中间框架、以及包围所述中间框架的外框架，所述中心处为原点，所述内框架、中间框架、以及外框架各有两条边平行于x轴，另外两条边平行于y轴；

所述外框架和所述中间框架之间通过第一解耦梁连接，所述第一解耦梁设置于所述中间框架平行于y轴的两侧；所述中间框架和所述内框架之间通过第二解耦梁连接，所述第二解耦梁设置于所述内框架平行于x轴的两侧；

位于所述内框架内部的联动部，所述联动部包括第一联动梁，两条杠杆梁、以及两条第二联动梁；所述第一联动梁和所述第二联动梁均平行于y轴，所述杠杆梁均平行于x轴；

两条所述杠杆梁关于x轴对称，分别与所述第一联动梁连接以形成一端开口的方框结构；

两条所述第二联动梁关于x轴对称且位于所述杠杆梁和所述内框架之间，所述第二联动梁的一端连接邻近的一条杠杆梁，另一端连接所述内框架。

2.如权利要求1所述的可变形结构，其特征在于：

所述第一解耦梁包括关于y轴对称的四个Z型解耦梁，所述Z型解耦梁的一端垂直连接所述中间框架平行于y轴的侧边，另一端垂直连接所述外框架平行于y轴的侧边。

3.如权利要求1所述的可变形结构，其特征在于：

所述第一解耦梁包括关于y轴对称的四个L型解耦梁，所述L型解耦梁的一端垂直连接所述中间框架平行于y轴的侧边，另一端垂直连接所述外框架平行于x轴的侧边。

4.如权利要求1所述的可变形结构，其特征在于：

所述第二解耦梁包括关于x轴对称的四个Z型解耦梁，所述Z型解耦梁的一端垂直连接所述内框架平行于x轴的侧边，另一端垂直连接所述中间框架平行于x轴的侧边。

5.如权利要求1所述的可变形结构，其特征在于：

所述第二解耦梁包括关于x轴对称的四个L型解耦梁，所述L型解耦梁的一端垂直连接所述内框架平行于x轴的侧边，另一端垂直连接所述中间框架平行于y轴的侧边。

6.如权利要求1所述的可变形结构，其特征在于：

所述杠杆梁未与所述第一联动梁连接的一端为支撑端，所述两条杠杆梁的支撑端各通过一第二锚点固定于所述基板上。

7.如权利要求1所述的可变形结构，其特征在于：

所述联动部还包括两条支撑梁，所述两条支撑梁均平行于y轴；

所述两条支撑梁关于x轴对称且位于所述方框结构内侧，一端连接邻近的一条杠杆梁，另一端各通过一第三锚点固定于所述基板上。

8.如权利要求7所述的可变形结构，其特征在于：

所述杠杆梁未与所述第一联动梁连接的一端为支撑端，所述两条杠杆梁支撑端的各通过一第二锚点固定于所述基板上；

所述第二联动梁与杠杆梁的连接位置位于杠杆梁的支撑端和杠杆梁与所述支撑梁的连接点中间。

9.如权利要求1-8任一项所述的可变形结构，其特征在于：

所述联动部还包括第三联动梁，所述第三联动梁的一端连接所述第一联动梁的中部，另一端用于和待连接件连接。