[实用新型]长晶工艺能源回收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种长晶工艺能源回收装置。

背景技术

半导体长晶阶段，多为单晶在长晶炉内生长好后，直接将废渣以及含砷废气排出，废渣收集后处理，废气直排空气，从而造成环境污染。同时废气带有大量的热能，如不加以收集，造成能源浪费，同时造成环境热污染。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为克服上述问题，提供一种进行热量收集及废气收集，从而提高能源利用率的长晶工艺能源回收装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种长晶工艺能源回收装置，包括长晶炉，所述长晶炉内设置有保温室，所述长晶炉的下侧连接有排渣管，所述长晶炉的上侧与排气管的一端连接，所述排气管的另一端与喷淋单元连接，所述排气管的外壁上还设置有冷凝单元，所述喷淋单元还设置有排水口。

优选地，所述冷凝单元为连通所述排气管的冷凝管。

优选地，所述冷凝管长度为2-10m。

优选地，所述喷淋单元包括喷淋室，所述喷淋室内设置有多个喷头。

优选地，所述保温室具有加热功能。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述保温室可以分段控制温度，有利于晶体生长，所述长晶炉的下侧连接有排渣管，废渣由排渣管排出，集中收集处理，所述长晶炉的上侧与排气管的一端连接，含砷废气由排气管排出，所述排气管的另一端与喷淋单元连接，所述排气管的外壁上还设置有冷凝单元，含砷废气由长晶炉排出时温度较高，带有大量热量，与排气管外的冷凝单元进行热交换后，废气温度降低从而降低喷淋塔内的废水温度，加热冷凝水可用于企业内部供热系统，降低处理及运营成本，所述喷淋单元还设置有排水口，砷废气由排气管进入喷淋单元之后经过液体喷淋吸收，基本无废气排出，废水由底部排出集中收集处理，从而达到含砷气体零排放。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型一个实施例的主视图。

图中标记：1-长晶炉，2-保温室，3-排渣管，4-排气管，5-冷凝单元，6-喷淋单元，7-排水口。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的本实用新型所述一种长晶工艺能源回收装置，包括长晶炉1，所述长晶炉1内设置有保温室2，所述保温室2具有加热功能，同时可以分段控制温度，有利于晶体生长，所述长晶炉1的下侧连接有排渣管3，废渣由排渣管3排出，集中收集处理，所述长晶炉1的上侧与排气管4的一端连接，含砷废气由排气管4排出，所述排气管4的另一端与喷淋单元6连接，所述排气管4的外壁上还设置有冷凝单元5，含砷废气由长晶炉1排出时温度较高，带有大量热量，与排气管4外的冷凝单元5进行热交换后，废气温度降低从而降低喷淋塔内的废水温度，加热冷凝水用于企业内部供热系统，降低处理及运营成本，所述喷淋单元6还设置有排水口7，砷废气由排气管4进入喷淋单元6之后经过液体喷淋吸收，基本无废气排出，废水由底部排出集中收集处理，从而达到含砷气体零排放。

在优选的实施方案中，所述冷凝单元5连通在所述排气管4的冷凝管，所述冷凝管内可采用冷却水进行冷却，冷却水温度升高，可用于保温系统或者用于企业内加热单元，从而使能源充分被利用，降低企业能耗成本，节约资源，保护环境。

在优选的实施方案中，所述冷凝管长度为2-10m，具体还可根据需要进行设置。

在优选的实施方案中，所述喷淋单元6包括喷淋室，所述喷淋室内设置有多个喷头，喷头个数可根据需要进行设置。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。