[实用新型]一种力平衡式微机械电场传感器有效
| 申请号： | 201420736087.4 | 申请日： | 2014-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN204228832U | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 孟瑞丽;陆倩倩;刘恒;张宏群;倪波;李敏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 215101 江苏省苏州市吴中区木*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平衡 式微 机械 电场 传感器 | ||
1.一种力平衡式微机械电场传感器，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；其特征在于，所述结构层包括第一支撑基座、第二支撑基座、质量块、第一至第四折叠梁，所述金电极层包括第一长方形电极、第二长方形电极和多边形电极；其中，
第一长方形电极与第二长方形电极之间相隔一定距离的溅射在玻璃基座上，多边形电极溅射在玻璃基座上且位于第一长方形电极与第二长方形电极的正中间，第一支撑基座键合在玻璃基座上且位于第一长方形电极上、第二支撑基座键合在玻璃基座上且位于第二长方形电极上，质量块设置在多边形电极的正上方且与玻璃基座上表面存有间距，质量块的左右两侧对称各设置两条折叠梁，各侧的两条折叠梁相对于质量块的横向中心线是上下对称的，第一折叠梁、第二折叠梁的一端与质量块的右侧连接，第三折叠梁、第四折叠梁的一端与质量块的左侧连接，第一折叠梁、第二折叠梁的另一端与第一支撑基座连接，第三折叠梁、第四折叠梁的另一端与第二支撑基座连接；质量块构成检测电容上极板，多边形电极构成检测电容下极板。
2.根据权利要求1所述的一种力平衡式微机械电场传感器，其特征在于，所述结构层的材料为掺杂浓硼的晶体硅。
3.根据权利要求1所述的一种力平衡式微机械电场传感器，其特征在于，所述第一支撑基座、第二支撑基座均为长方形结构。
4.根据权利要求1所述的一种力平衡式微机械电场传感器，其特征在于，所述质量块内有若干个镂空的正方形孔。
5.根据权利要求1所述的一种力平衡式微机械电场传感器，其特征在于，所述第一折叠梁、第二折叠梁、第三折叠梁、第四折叠梁均为多级U型梁。
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