[实用新型]多靶大颗粒过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种过滤装置，具体的说是应用于真空镀膜设备的多靶大颗粒过滤装置。

背景技术

真空设备中的过滤大颗粒装置是得到高质量薄膜的关键设备之一。

过滤装置都是利用电子质量轻，受力时其速度容易改变的特性达到过滤目的的，如在轴向磁场环境下，电子沿着磁力线方向成螺旋状前进，当磁场方向改变，电子业沿着磁力线做螺旋状前进，因此，其前进方向偏离原行进方向（弯曲螺旋管口径必须大于电子回旋半径），因此带正电荷的例子也偏离原行进方向，而弧斑产生的液滴额碎片的 方向不会改变，从而达到过滤大颗粒的目的。

为过滤大颗粒，工程上发展出了多种类型的过滤装置。从简单的挡板型过滤装置，发展到乌克兰的Aksenov和Ryabchikov等人提出了一种百叶窗式过滤器，可以使等离子体从过滤器叶片之间通过，而大直径的宏观粒子将被倾斜的叶片挡住，但是这种百叶窗式的过滤器形成的等离子体均匀区域只能达到直径范围是180mm左右。螺线管型磁过滤装置对大颗粒的过滤效率较高，但是系统效率降低。

上述种种磁过滤大颗粒装置，在调试使用时都比较复杂，与此同时无法有效提高系统效率。

发明内容

本实用新型旨在克服现有技术的缺陷，提供一种多靶大颗粒过滤装置，有效的提高了靶材的利用效率并改善了膜层质量。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

一种多靶大颗粒过滤装置，其特征在于：包括矩形盒体、靶座、靶材、可视窗口和亥姆霍兹线圈；矩形盒体的一侧安装有靶座，靶座上设有至少两个靶材安装口，靶材装在靶材安装口；矩形盒体的另一侧设有至少一个可视窗口；矩形盒体顶部设有一个基座，基座上绕有亥姆霍兹线圈。

本实用新型的有益效果是：磁路组件的设计改变了磁场的空间分布，实现了镀膜时过滤大颗粒，有效的提高了靶材的利用效率并改善了膜层质量，而且过滤工艺调试只需要调节磁场大小。

附图说明

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的使用状态示意图。

具体实施方式

如图1所示：一种多靶大颗粒过滤装置，包括矩形盒体1、靶座2、靶材、可视窗口3和亥姆霍兹线圈4；矩形盒体的一侧安装有靶座，靶座上设有至少两个靶材安装口5，靶材装在靶材安装口；矩形盒体的另一侧设有至少一个可视窗口，供观察真空室内的电弧运动轨迹；矩形盒体顶部设有一个基座，基座上绕有亥姆霍兹线圈。如图2所示：本实用新型多靶大颗粒过滤装与真空设备6连通。

亥姆霍兹线圈是一对相同的载流圆线圈彼此平行且共轴，通以同方向电流，当线圈间距等于线圈半径时，两个载流线圈的总磁场在轴的中点附近的较大范围内是均匀的。故在生产和科研中有较大的实用价值，也常用于弱磁场的计量标准。