[实用新型]全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统

权利要求书

1.一种全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其包括执行模块及上位机，所述执行模块包括控制温度的中频加热模块、控制晶体提拉速度的晶体提拉模块、控制晶体旋转速度的晶体旋转模块及对生长炉内晶体重量进行测量的称重模块，其特征在于：所述全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统还包括控制晶体生长及各模块运转的控制模块，所述控制模块与上位机及执行模块分别进行通信连接，所述上位机用于进行生长参数设置和实时监测，所述控制模块与上位机在功能上相互独立，所述控制模块与称重模块通信以获取称重信号，所述控制模块与中频加热模块进行通信以设置功率值和读取中频参数，所述控制模块与上位机电脑通信以上传监测信号和接收操作命令，所述控制模块包括可编程控制器。

2.根据权利要求1所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统包括对控制模块进行供电的不间断电源。

3.根据权利要求1所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述控制模块控制过程中以数字信号的方式传输称重模块获取的称重数据。

4.根据权利要求1所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：采用PID控制方式对中频加热模块的功率进行控制，所述控制模块以数字信号的方式传输中频加热模块的功率控制信号。

5.根据权利要求1所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述控制模块以数字信号的方式与上位机电脑通信。

6.根据权利要求1所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述控制模块主要基于该可编程控制器，运用梯形图语言和ST语言进行编程完成对整个晶体生长过程的自动控制。

7.根据权利要求1所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述晶体提拉模块包括第一电机驱动器和与第一电机驱动器连接的提拉电机，所述提拉电机的转速采用控制模块的高速脉冲输出进行控制。

8.根据权利要求7所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述晶体提拉模块包括与提拉电机配合的减速电机，所述第一电机驱动器采用双脉冲工作方式。

9.根据权利要求7所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述提拉电机采用五相步进电机。

10.根据权利要求1所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述晶体旋转模块包括第二电机驱动器和与第二电机驱动器连接的旋转电机，所述旋转电机的转速采用控制模块的高速脉冲输出进行控制。

11.根据权利要求10所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述晶体旋转模块包括与旋转电机配合的减速电机，所述第二电机驱动器采用双脉冲工作方式。

12.根据权利要求10所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述旋转电机采用五相步进电机。

13.根据权利要求1所述的全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统，其特征在于：所述全数字化集散型闪烁晶体提拉炉控制系统还包括安全监控模块，所述安全监控模块通过上位机显示其监控到的异常情况，上位机对异常情况进行报警和记录。