[实用新型]一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填装置有效
| 申请号： | 201420745046.1 | 申请日： | 2014-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN204251765U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘瑜;陈晓玲 | 申请（专利权）人： | 杭州晶一智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 泡生法 蓝宝石 设备 自动 充填 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填装置，所述的长晶设置上设置连接管，其特征在于：所述的连接管上设置1/2英寸电磁阀和真空计，所述的1/2英寸电磁阀连接1/2英寸计量阀，所述的1/2英寸计量阀通过软管连接1/2英寸球阀，所述的1/2英寸球阀连接氩气瓶，还包括进行集中控制的PLC控制器，所述的1/2英寸电磁阀、1/2英寸计量阀和真空计与PLC控制器通过信号线连接和通信。
2.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填装置，其特征在于：所述的真空计具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信，用于测量所述的长晶设备的内部真空度，测量范围大于100Pa。
3.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填装置，其特征在于：所述的1/2英寸电磁阀设置数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。
4.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填装置，其特征在于：所述的1/2英寸计量阀设置数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。
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