[实用新型]一种新型圆柱直流磁控溅射靶

权利要求书

1.一种新型圆柱直流磁控溅射靶，包括靶帽、靶体、靶座、靶座法兰、传动装置、绝缘装置、减速电机；其中靶帽设置在靶体顶端，该靶体另一端与靶座连接；其特征是，所述靶座内部设有传动装置，靶座外圆周面上设有靶座法兰；所述靶座与靶座法兰之间设有绝缘装置，其中靶座法兰通过立柱与电机安装架连接，该电机安装架上设有减速电机。

2.根据权利要求1所述的一种新型圆柱直流磁控溅射靶，其特征是，所述靶体，包括靶心、靶心安装杆、磁铁、靶材，其中靶心套置在靶心安装杆上，靶材套置在靶心外，且靶材与靶心之间设有空隙；所述靶心外圆周面上沿轴向设有多条凹槽，每条凹槽内设有若干条形磁铁。

3.根据权利要求2所述的一种新型圆柱直流磁控溅射靶，其特征是，所述靶心顶端设有挡圈，该靶心末端设有定位环，其中条形磁铁设置在挡圈和定位环之间。

4.根据权利要求1所述的一种新型圆柱直流磁控溅射靶，其特征是，所述靶帽，包括端盖、铜套、端盖螺母、密封圈；其中铜套套置在靶心安装杆的顶端，端盖设置在靶材顶端，该端盖与靶材顶端之间设有密封圈，其中端盖螺母用于拧紧并固定端盖。

5.根据权利要求1所述的一种新型圆柱直流磁控溅射靶，其特征是，所述靶座前端与靶材末端连接，该靶材与靶座之间设有密封圈；所述靶座末端设有靶座盖，该靶座盖与靶座通过螺钉紧固。

6.根据权利要求1所述的一种新型圆柱直流磁控溅射靶，其特征是，所述传动装置，包括传动轴、轴承、轴承压紧圈、联轴器、油封、油封挡圈；其中传动轴末端通过联轴器与减速电机的输出轴连接，该传动轴前端套置在靶心安装杆末端，并通过固定销固定；所述传动轴与轴承配合，该传动轴上设有油封和油封挡圈，其中油封紧贴轴承前端，该轴承末端设有轴承压紧圈，该轴承压紧圈紧贴靶座盖内侧。

7.根据权利要求1所述的一种新型圆柱直流磁控溅射靶，其特征是，所述绝缘装置，包括第一绝缘套、第二绝缘套、第三绝缘套、第一密封圈、第二密封圈和绝缘套压紧环。

8.根据权利要求1或7所述的一种新型圆柱直流磁控溅射靶，其特征是，所述靶座法兰通过圆螺母固定在在靶座外圆周面上， 其中圆螺母与靶座法兰之间依次设有第一绝缘套、绝缘套压紧环、第二绝缘套、第三绝缘套。

9.根据权利要求8所述的一种新型圆柱直流磁控溅射靶，其特征是，所述靶座法兰与靶座之间设有第三绝缘套，该第三绝缘套与靶座之间设有第一密封圈，第三绝缘套与靶座法兰之间设有第二密封圈。