[实用新型]熔滴喷射制备焊球装置

权利要求书

1.熔滴喷射制备焊球装置，其特征在于包括加热系统(1)，焊球产生系统(2)，气体供给系统，焊球收集系统(4)，气压稳定系统(5)，所述的加热系统(1)通过焊球产生系统(2)与焊球收集系统(4)连接，所述的气压稳定系统(5)与加热系统(1)相连，所述的气体供给系统通过真空泵(6)分别与气压稳定系统(5)以及焊球收集系统(4)连接，所述的焊球收集系统(4)内设置冷却液(14)。

2.根据权利要求1所述的熔滴喷射制备焊球装置，其特征在于所述的加热系统由坩埚(7)、电热丝(8)、顶盖(9)、热电偶(11)组成，所述坩埚外侧固定有加热丝(8)并设置保温棉，坩埚中心底部设置喷嘴(10)，所述的热电偶(11)设置在焊料熔池底部喷嘴(10)上方。

3.根据权利要求2所述的熔滴喷射制备焊球装置，其特征在于所述焊球收集系统包括压力表(12)，观察窗(13)、照明灯(18)，所述的冷却液(14)为硅油。

4.根据权利要求3所述的熔滴喷射制备焊球装置，其特征在于所述焊球收集系统内还设置升降台(15)，升降冷却液的高度。

5.根据权利要求4所述的熔滴喷射制备焊球装置，其特征在于所述气压稳定系统(5)与焊球收集系统(4)外设有截止阀(16)。