[实用新型]一种多晶炉管道自动控制装置

权利要求书

1.一种多晶炉管道自动控制装置，用于连接真空腔室的抽气口和气冷系统的抽气管道，其特征在于，所述装置包括水冷套和套设在所述水冷套外部的真空波纹管，所述水冷套的法兰靠近所述抽气口的一面贴在所述抽气口的法兰上，所述水冷套的法兰的另一面固定在所述真空波纹管靠近所述抽气口的一端的法兰上，所述真空波纹管靠近所述抽气管道的一端的法兰固定在所述抽气管道的法兰上；所述装置还包括分别设置在所述真空波纹管两侧的预紧机构和微调机构，所述预紧机构使所述水冷套的法兰靠近所述抽气口的一面与所述抽气口的法兰贴合或脱开，所述微调机构使所述水冷套的法兰靠近所述抽气口的一面与所述抽气口的法兰紧贴。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述预紧机构包括气缸，所述气缸的一端固定在所述抽气管道的法兰上，所述气缸的另一端固定在所述真空波纹管靠近所述抽气口的一端的法兰上。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微调机构包括导杆、调节螺母、导套、调节弹簧和直线轴承，所述导杆的一端固定在所述抽气管道的法兰上，所述导杆的另一端通过所述直线轴承连接在所述真空波纹管靠近所述抽气口的一端的法兰上，所述调节弹簧、所述导套和所述调节螺母依次连接后套装在所述导杆上，所述调节弹簧还与所述直线轴承连接。