[实用新型]一种均热性热板有效
申请号: | 201420781910.3 | 申请日: | 2014-12-13 |
公开(公告)号: | CN204332940U | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 赵少华;张志勇;赵锁义;赵炜 | 申请(专利权)人: | 西安宝莱特光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/42 | 分类号: | H01L23/42;H01L23/367 |
代理公司: | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人: | 李罡 |
地址: | 710075 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 均热 性热板 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种加热设备,具体涉及一种均热性热板。
背景技术
在有机发光器件领域,基片在做金属沉淀前,经常需要去气,预清洗及沉淀等几个步骤,其中所述去气步骤是指使基片升温至一定温度以去除基片上的水蒸气及其它易挥发性杂质的工艺步骤,在加热基片的过程中,既要求使基片快速升温,又要保证基片各区域的升温均匀;否则,会影响后续步骤的均匀性、更甚者将造成基片破碎等的问题,热板作为基片去气的加热设备,其结构设计以及材料品质直接影响着基片受热的均匀性,如何设计热板的结构使其温度更军营内是业界一直在探索的一个问题。
实用新型内容
针对背景技术中存在的不足,本实用新型的目的是提供一种均热性热板。
本实用新型的技术方案是这样实现的:一种的均热性热板,主要包括基座,所述基座厚度为15mm-22mm,其具有相对的第一侧边和第二侧边,由第一侧边向基座内部浇铸有多个左加热棒,由第二侧边向基座内部浇铸有多个右加热棒,左加热棒与右加热棒交错排列,左加热棒的末端未穿过第二侧边,右加热棒的末端未穿过第一侧边。
作为优选地,所述基座呈方形。
作为优选地,左加热棒数量为3个,右加热棒数量为2个。
本实用新型与现有技术相比,存在以下优点:采用上述结构,本实用新型在15mm-22mm的厚度范围内,通过对加热棒合理排布,使得热板温度得以均匀分布。
附图说明
图1是本实用新型的立体结构示意图;
图2为本实用新型的剖面结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如附图1所示,本实用新型所述的均热性热板,主要包括基座1,所述基座1厚度为15mm-22mm,其具有相对的第一侧边11和第二侧边12,由第一侧边11向基座1内部浇铸有多个左加热棒2,由第二侧边12向基座1内部浇铸有多个右加热棒3,左加热棒2与右加热棒3交错排列,左加热棒2的末端未穿过第二侧边12,右加热棒3的末端未穿过第一侧边11。
所述基座厚度为21.5mm。
以上所述左右位置仅为描述需要而定义,本实用新型并不局限于上述位置定义,上述其他特征也仅为本实用新型的较佳实施例而已,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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