[实用新型]一种具有温度梯度调整作用的用于制备碳化硅晶体的坩埚有效
申请号: | 201420784391.6 | 申请日: | 2014-12-11 |
公开(公告)号: | CN204417651U | 公开(公告)日: | 2015-06-24 |
发明(设计)人: | 巴音图;邓树军;高宇;陶莹 | 申请(专利权)人: | 河北同光晶体有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B11/00;C30B28/06 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 韩敏 |
地址: | 071051 河北省保定市二环路*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 温度梯度 调整 作用 用于 制备 碳化硅 晶体 坩埚 | ||
1.一种坩埚,包括坩埚体(1),上盖(2),所述坩埚体(1)呈筒状,所述上盖(2)与坩埚体(1)端口形状相配合、盖在坩埚体(1)端口处,其特征在于还包括附加层(3),所述附加层(3)位于坩埚体(1)内部底面上。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚,其特征在于所述附加层(3)完全覆盖坩埚体(1)的内部底面。
3.根据权利要求1所述的一种坩埚,其特征在于所述附加层(3)覆盖坩埚体(1)内部底面的一部分。
4.根据权利要求1所述的一种坩埚,其特征在于所述附加层(3)上表面为平面。
5.根据权利要求1所述的一种坩埚,其特征在于所述附加层(3)上表面为弧面。
6.根据权利要求1所述的一种坩埚,其特征在于所述附加层(3)呈圆锥状。
7.根据权利要求1所述的一种坩埚,其特征在于所述附加层(3)呈半球状。
8.根据权利要求1所述的一种坩埚,其特征在于所述附加层(3)呈圆柱状。
9.根据权利要求1所述的一种坩埚,其特征在于所述附加层(3)的材质为碳纤维、碳化硅或炭化钽中的一种或几种。
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