[实用新型]一种用于感应加热线圈的支撑装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体材料制备装置领域，具体涉及一种用于感应加热线圈的支撑装置

背景技术

作为第三代半导体材料中技术发展最为成熟的材料，SIC具有宽带隙、高临界击穿场强、高热导率、高载流子饱和迁移率以及高键合能等优点。其优异性能可以满足现代电子技术的特殊领域的新需求，特别适合制造高频、大功率、抗辐射、抗腐蚀的电子器件，因而被当做是半导体材料领域中最有前景的材料之一。许多国家相继投入了大量的资金对SIC进行了各方面深入的研究，同时晶体生长设备也日益被人们所重视。

碳化硅晶体生长设备采用中频感应加热方式，整个加热电路由感应线圈、中频电源和谐振电容组成，感应线圈内部装有温场系统及晶体生长坩埚等部件，线圈安装的位置，包括垂直度，对中性等，晶体生长质量有着重要影响。

传统行业所制感应线圈一般采用铜管绕制，树脂胶木柱及铜螺丝固定每一匝，保证间隙。胶木柱两侧及与线圈接触部敷贴云母板，防止胶木柱炭化及短路打火。胶木柱底部支撑整个线圈的重量，圆周方向有多个胶木柱，且不能调节高度，容易造成线圈多个支撑点与底板虚接触的现象。

发明内容

本实用新型旨在针对现有技术的技术缺陷，提供一种用于感应加热线圈的支撑装置，以解决线圈安装不易调节，无法调整整体垂直度、对中性的技术问题。

为实现以上技术目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于感应加热线圈的支撑装置，包括底板，基座，支撑柱，第一紧锁螺母，调节螺栓，第二紧锁螺母，螺杆，线圈本体，其中基座位于底板上表面，基座为绝缘材质，基座上部具有形状与支撑柱相配合的凹槽、支撑柱插接于该凹槽中，调节螺栓下部与支撑柱上部丝接形成第一接合部，第一紧锁螺母丝接于所述第一接合部处，调节螺栓上部与螺杆下部丝接形成第二接合部，第二紧锁螺母丝接于所述第二接合部处，线圈本体与螺杆固定连接。

优选的，还包括销钉，同时基座侧面具有横向贯穿基座的销孔，支撑柱下部 侧面具有横向贯穿支撑柱的销孔，当支撑柱插接在基座的凹槽上时支撑柱上的销孔与基座上的销孔位置相重合，销钉贯穿上述全部销孔。

优选的所述插接为丝接。

优选的，底板具有空腔；在此基础上还可以进行如下优选：所述空腔为真空空腔。

优选的，所述绝缘材质为聚四氟乙烯。

优选的，所述支撑柱，第一紧锁螺母，调节螺栓，第二紧锁螺母，螺杆均为黄铜材质。

优选的，所述基座，支撑柱，第一紧锁螺母，调节螺栓，第二紧锁螺母，螺杆的数量相一致，各自一一对应，若干螺杆沿线圈本体外周均匀分布；在此基础上还可以进行如下优选：所述基座，支撑柱，第一紧锁螺母，调节螺栓，第二紧锁螺母，螺杆的数量均为4个。

在以上技术方案中，基座由四氟绝缘材料制成，防止线圈本体与底板短路打火。支撑柱坐于基座之上，孔轴间隙配合，采用销钉连接，防止脱落；当然也可以采用其他固定模式，例如丝接固定。调节螺栓下部与支撑柱上部螺纹配合，可调节高度至合理位置后，用第一锁紧螺母锁紧固定。调节螺栓的上端与线圈螺杆同样螺纹配合，安装连接后，用第二锁紧螺母锁紧固定。线圈安装时，分别调整各套调节螺栓，保持线圈整体的垂直度好，并锁紧螺母固定，从而可以方便的调节装置整体垂直度、对中性等位置条件。整套调整支撑装置中，支撑柱、锁紧螺母、及调节螺栓、线圈螺杆均可采用黄铜材质，散热快，耐高温。

利用本实用新型技术方案对感应加热线圈进行支撑固定，安装简便、稳定性好、可方便的调节装置角度，同时能够有效避免线圈本体与落地支撑部短路打火。同时本实用新型结构相对简单、成本较低，实用性强，因此具有突出的推广前景。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的立体结构示意图；

图中：

1、底板          2、基座          3、销钉          4、支撑柱

5、第一紧锁螺母  6、调节螺栓      7、第二紧锁螺母  8、螺杆

9、线圈本体 

具体实施方式

以下将对本实用新型的具体实施方式进行详细描述。为了避免过多不必要的细节，在以下实施例中对属于公知的结构或功能将不进行详细描述。除有定义外，以下实施例中所用的技术和科学术语具有与本实用新型所属领域技术人员普遍理解的相同含义。

实施例1