[实用新型]一种大面积生长石墨烯的装置

权利要求书

1.一种大面积生长石墨烯的装置，其特征在于，包括石英管(5)、通气腔体(1)、金属基底(4)，所述通气腔体(1)内部中空，所述通气腔体(1)为螺旋式柱状结构，所述金属基底(4)的形状与所述通气腔体(1)的形状相匹配，所述金属基底(4)沿着所述通气腔体(1)内表面螺旋卷曲，所述通气腔体(1)最内圈的端部与所述金属基底(4)最内圈的端部固定连接在一起，所述通气腔体(1)的最内圈的一侧和最外圈的同一侧上均设有进气口(3)，所述通气腔体(1)的内表面上设有多个出气孔(2)，所述石英管(5)套设在所述通气腔体(1)外，包覆住整个所述通气腔体(1)。

2.根据权利要求1所述的一种大面积生长石墨烯的装置，其特征在于，所述出气孔(2)均匀分布在所述通气腔体(1)的内表面上，所述出气孔(2)为通孔。

3.根据权利要求1所述的一种大面积生长石墨烯的装置，其特征在于，所述通气腔体(1)每一圈之间的间隔大于等于1mm。

4.根据权利要求1所述的一种大面积生长石墨烯的装置，其特征在于，所述通气腔体(1)内表面与外表面之间的距离为1～2mm。

5.根据权利要求1所述的一种大面积生长石墨烯的装置，其特征在于，所述石英管(5)的内径大于所述通气腔体(1)最外圈的外径0.1～50mm。

6.根据权利要求1所述的一种大面积生长石墨烯的装置，其特征在于，所述通气腔体(1)的轴向长度大于所述金属基底(4)的轴向长度。

7.根据权利要求1至6任一项所述的一种大面积生长石墨烯的装置，其特征在于，所述通气腔体(1)由石英或者刚玉制成。