[实用新型]光刻胶桶辅助装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于光刻胶桶的装置，具体是一种光刻胶桶辅助装置，属于光刻胶桶配件技术领域。

背景技术

众所周知，导体黄光工艺包含上光阻、曝光以及显影三道工序。其中，上光阻是指在晶元上涂抹光刻胶，形成光刻胶膜的过程；曝光是利用曝光光束将覆有光刻胶膜的晶元进行照射，形成图案；而显影则是最后的操作，具体是将曝光形成的图案再经显影工序显现出来。

目前，一般使用旋转式涂布机去完成第一道的上光阻工序，晶元旋转的同时，一定量的光刻胶喷涂于晶元中心部位，并借助离心力作用，均匀由内向外扩散到晶元边缘部位，完成整个上光阻工序。操作时，为了防止污染环境，供给旋转式涂布机的光刻胶A一般装在光刻胶桶1内，如图1所示，光刻胶桶1放置在固定支架3内，光刻胶桶1内插有引流导管2，桶内的光刻胶A经引流导管2通过引流抽取的方式供给于旋转式涂布机；待光刻胶桶1内的光刻胶A使用殆尽，则更换新的光刻胶桶1即可。但在实际操作过程中，光刻胶桶1底部的光刻胶A将有残余，在光刻胶A无法完全利用的状态下更换胶桶，造成光刻胶的浪费。而光刻胶属于高成本物料，无法利用的光刻胶在一定程度上增加了生产成本，降低了光刻胶的利用率。

此外，因光刻胶A对光照比较敏感，为防止光照进入光刻胶桶1内，光刻胶桶1一般选用深色系颜色，操作者无法从外部直接观测光刻胶桶1内光刻胶A的含量。而光刻胶桶1外侧也没有设置可以测量液位的传感器，故无法获知光刻胶桶1内光刻胶A的残余量。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种光刻胶桶辅助装置，能够最大限度地减少光刻胶桶内光刻胶的残余量，提高光刻胶的利用率。

为了实现上述目的，本实用新型采用的一种光刻胶桶辅助装置，包括固定支架，固定支架内侧放置有光刻胶桶，光刻胶桶内插有引流导管，还包括驱动结构和控制结构，所述固定支架安装在驱动结构上方，所述驱动结构安装在固定支架的下方，用于调整固定支架的倾斜度；所述控制结构与驱动结构连接，用于控制驱动结构工作。

所述驱动结构包括左侧驱动轴和右侧驱动轴，所述左、右侧驱动轴分别位于固定支架下两侧，通过调节固定支架左右两侧的高度调整固定支架的倾斜度。

所述控制结构以时间为基准设置固定支架及固定支架内光刻胶桶的倾斜角度，固定支架及固定支架内的光刻胶桶在驱动结构的作用下根据事前设置的幅度倾斜。

所述控制结构包括马达和控制器，所述控制器根据内设的时间控制马达的工作状况，带动驱动结构工作调整固定支架及光刻胶桶的倾斜度。

所述驱动结构上还安装有停止感应器，当固定支架的底部触碰到停止感应器时，驱动结构停止工作，固定支架及光刻胶桶将停止倾斜。

与现有技术相比，本实用新型通过用于调节固定支架倾斜度的驱动结构和用于控制驱动结构工作的控制结构，可将固定支架内的光刻胶桶倾斜放置，充分利用光刻胶桶内的光刻胶，随着光刻胶桶倾斜的角度越来越大，光刻胶桶内光刻胶的残余量越来越少，直至耗尽重发被利用，进而最大限度地减少光刻胶的残余量，提高光刻胶的利用率。同时，光刻胶的充分利用，减少了排出的光刻胶废液，从而减轻了对环境的污染。

附图说明

图1为现有光刻胶桶使用方式的结构示意图；

图2为本实用新型使用方式的结构示意图；

图3为本实用新型后期使用方式的结构示意图。

图中：1、光刻胶桶，2、引流导管，3、固定支架，4、驱动结构，4A、左侧驱动轴，4B、右侧驱动轴，5、控制结构，A、光刻胶。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图2和图3所示，一种光刻胶桶辅助装置，包括固定支架3，固定支架3内侧放置有光刻胶桶1，光刻胶桶1内插有引流导管2，还包括驱动结构4和控制结构5，所述固定支架3安装在驱动结构4上方，所述驱动结构4安装在固定支架3的下方，用于调整固定支架3的倾斜度；所述控制结构5与驱动结构4连接，用于控制驱动结构4工作。

如图2所示，启动控制结构5，控制结构5带动驱动结构4工作，对固定支架3进行倾斜度调整，固定支架3内的光刻胶桶1会连同固定支架3一同倾斜。这样，可以保证光刻胶桶1内光刻胶A的量逐渐减少，通过将光刻胶桶1倾斜放置来增加光刻胶A的使用量，进而最大限度的减少了光刻胶桶1内光刻胶A的残余量，提高了光刻胶的利用率。其中，控制结构5的设置能够保证倾斜角度的准确性。