[实用新型]一种硅芯提拉装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，特别是涉及一种能够连续拉制硅芯的硅芯提拉装置。

背景技术

目前，现有的多晶硅大多采用改良西门子法生产，在改良西门子法生产多晶硅的工艺中，在多晶硅还原炉内安装硅芯，通过为硅芯加载电压，以加热硅芯，并在还原炉内通入三氯氢硅和氢气，令硅芯与三氯氢硅和氢气发生还原反应，生成的多晶硅沉积到硅芯上，经过一段时间的沉积，硅芯长成直径在100mm以上的多晶硅棒。因此，硅芯作为多晶硅生产的加热载体，硅芯的生产对多晶硅的生产产生很大影响。

传统的硅芯生产工艺是利用由氢氟酸和硝酸以一定比例混合后的混合酸对一定长度和直径的硅棒进行腐蚀处理，之后装入硅芯炉内，对硅芯炉抽空到一定真空度，充保护气体使炉内压力达到一定压力值，在保护气氛围下，高频感应加热硅棒，使硅棒局部熔化，然后与设置在硅芯炉上炉桶部上轴上的籽晶充分熔接，并以一定的速度向上提拉硅棒，拉制成外表均匀的、所需的直径和长度的硅芯。

现有的硅芯提拉装置是采用电机驱动钢丝卷轴转动，钢丝绳的一端固定在钢丝卷轴上，另一端连接飞机头，而一个飞机头有多个引晶夹头，每个引晶夹头夹持一根硅芯的上端部，通过钢丝卷轴卷绕钢丝绳，带动飞机头自下而上提升，从而缓慢向上同步提拉多根硅芯。当钢丝绳完全卷绕在钢丝卷轴上时，硅芯在飞机头的带动下到达行程的最上端，一组的多根硅芯拉制完毕。提断该组硅芯后，将钢丝绳从钢丝卷轴上释放，从而将飞机头再次降到行程的下端，利用引晶夹头夹持下一组硅芯的上端部，再次缓慢向上提拉。

由于卷绕在钢丝卷轴上的钢丝绳长度有限，飞机头的行程有限，限制了单次拉制硅芯的长度。将一组硅芯提拉到一定高度后，需要停止提拉，待切断本组硅芯后，等到释放钢丝绳、飞机头夹持下一组硅芯的上端部的操作完成后，才可以继续拉制硅芯。

该硅芯提拉装置无法连续拉制硅芯，影响硅芯生产效率，因此，亟需一种硅芯提拉装置以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种硅芯提拉装置，用以解决硅芯拉制效率低的问题。

本实用新型为解决上述技术问题，采用如下技术方案：

本实用新型提供一种硅芯提拉装置，包括电机，还包括转动轮和用于引导硅芯的提拉方向的导向部件，导向部件固设于硅芯炉筒壁上，转动轮的端面上固设有转轴，转轴能够与电机相连；

转动轮的圆周和导向部件上均设置有圆弧形凹槽，硅芯能够容置于导向部件的圆弧形凹槽内，并与转动轮的圆弧形凹槽相贴合；

转动轮能够在电机提供的动力的作用下绕转轴转动，并借助转动轮的圆弧形凹槽与硅芯之间的摩擦力，持续提拉硅芯。

优选的，转动轮的圆弧形凹槽的弧度与硅芯的侧面的弧度相等；

导向部件的圆弧形凹槽的弧度大于或等于硅芯的侧面的弧度。

优选的，转动轮的圆弧形凹槽的表面包覆有耐磨且防滑的软性材料。

优选的，所述耐磨且防滑的软性材料为聚氨酯。

进一步的，所述硅芯提拉装置还包括传动机构，传动机构分别与电机和转动轮的转轴相连，能够将电机提供的动力传递至转动轮的转轴，并通过转轴带动转动轮转动。

优选的，所述传动机构为齿轮传动机构。

优选的，所述齿轮传动机构包括：轴承、第一锥齿轮和第二锥齿轮，轴承与电机相连，第一锥齿轮与轴承垂直设置，第一锥齿轮的中心孔与轴承的一端固连；第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合，且第二锥齿轮的中心孔与转动轮的转轴固连。

优选的，第一锥齿轮为两个，两个第一锥齿轮的中心孔分别与轴承的两端固连；

两对转动轮和导向部件为一组，用于提拉一根硅芯，一组中的两个转动轮的转轴分别与两个第二锥齿轮的中心孔固连，其中，所述两个第二锥齿轮分别啮合所述两个第一锥齿轮。

优选的，所述齿轮传动机构将电机提供的动力传递至多组转动轮，并带动多组转动轮同步转动；

其中，两个第一锥齿轮分别啮合数量相同的多个第二锥齿轮，所述多个第二锥齿轮的中心孔分别与各组的转动轮的转轴固连。

本实用新型具有如下有益效果：