[实用新型]一种空气采样泵装置

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体制造领域，涉及一种空气采样泵装置。

背景技术

为了能够很好地监控半导体工厂(Fab)环境的空气污染物质量，质量工程师(QE)对于Fab需要每天进行空气取样，每次需要多个空气采样泵装置(pump)去抽取各个区域的环境空气，并溶解于液体中，形成采样溶液，采样溶液统一由化学实验集成电路(Chemical Lab IC)机台进行分析。

现在质量工程师使用较简易的取样方式，人为的通过面板设定所需取样的时间段，设定完成之后，在泵体抽取管道中的气体形成负压的情况下，空气污染物会随空气通过取样口进入取样瓶并溶解于取样瓶内的液体中，多余的空气经过干燥管路被泵体继续抽取，从而空气源源不断进入取样瓶中，使取样瓶内内体溶解足够的空气污染物。其中干燥管路可以防止泵体因潮气损坏。经过规定时间的取样后，将取样瓶内的液体样品及时进行分析。

由于取样时空气采样泵装置需要放在FAB里的机台旁约一个小时，经常会发生空气采样泵被人不小心撞倒的状况，由于现有的干燥管路仅包括一个干燥管，其吸取液体能力有限，这时取样瓶中的水会顺着管道倒流而使采样泵损坏，并且有可能将液体倒灌入机台，导致机台破损。

因此，提供一种新的空气采样泵装置以防止采样泵及机台由于液体倒灌而损坏实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种空气采样泵装置，用于解决现有技术中空气采样泵装置容易因意外发生液体倒流使得采样泵损毁或导致机台破损的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种空气采样泵装置，包括采样管及泵体，所述采样管顶部设有空气入口及管路接口，所述管路接口与所述泵体之间通过管路连接；所述管路包括第一防护段及第二防护段；

所述第一防护段包括一二通阀，所述二通阀的入口通过第一管道与所述管路接口连接、出口与第二管道连接；所述第一管道中放置有一能透过气体而不能透过液体的单透膜，所述单透膜与所述二通阀之间设有移动警报装置；所述移动警报装置安装于所述第一管道内壁并与所述泵体及二通阀电连接，当所述单透膜由于液体冲力与所述移动警报装置接触并触发所述移动警报装置，所述移动警报装置控制所述泵体停止抽气，并控制所述二通阀使其关闭；

所述第二防护段包括入口与所述第二管道连接的三通阀，所述三通阀的两个出口分别与第一分支管道及第二分支管道连接；所述第一分支管道与一内壁设有吸水树脂膜的第一干燥管的入口连接，所述第一干燥管的出口装设有一封闭阀门；所述第二分支管道与一第二干燥管的入口连接，所述第二干燥管的出口通过第三管道与所述泵体连接；所述第二管道内壁上装设有与所述三通阀及所述封闭阀门电连接的液体传感器，当所述液体传感器未检测到液体时，所述第一分支管道关闭，所述第二分支管道开启，当所述液体传感器检测到液体时，所述液体传感器控制所述三通阀关闭所述第二分支管道并开启第一分支管道，并控制所述封闭阀门关闭所述第一干燥管的出口。

可选地，所述第一干燥管入口处放置有色度指示剂卡片。

可选地，所述吸水树脂膜包括一基板及连接于所述基板表面的若干鱼鳞状树脂片。

可选地，所述鱼鳞状树脂片外端朝向所述第一干燥管入口方向。

可选地，所述移动警报装置包括压力传感器。

可选地，所述移动警报装置包括一与所述压力传感器连接的蜂鸣器、发光二极管或声光装置。

可选地，所述吸水树脂薄膜采用聚丙乙烯材料。

可选地，所述第一管道与所述管路接口之间还设置有一缓冲容器，所述缓冲容器包括进气端口及出气端口，所述进气端口通过第四管道与所述管路接口连接，所述出气端口与所述第一管道连接。

可选地，所述进气端口设置于所述缓冲容器顶部，所述出气端口设置于所述缓冲容器侧壁上部且与所述进气端口垂直。

可选地，所述泵体及采样管均放置于一承载框体内。