[实用新型]一种用于靶材喷涂的真空罐体

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于靶材喷涂的真空罐体，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材喷涂技术领域。

背景技术

靶材是在溅射沉积技术中用做阴极的材料。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。通俗的解释为靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。而靶材在制造过程中，其必须在管状金属基材的基础上进行等离子喷涂，进行等离子喷涂环境是决定靶材质量与品质的重要因素之一。

而现有的靶材喷涂最好采用在真空低压环境下喷涂，这样就需要能容置靶材及喷涂装置的真空罐体，而现有的真空罐体均没有设置有安全保护装置，令加工过程中的安全性降低，同时当真空罐体内气压过大时，罐体门被顶开，生产停止，同时存在生产风险。

由此，本发明人考虑对现有的靶材喷涂真空罐体结构进行改进，本案由此产生。

实用新型内容

 针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于靶材喷涂的真空罐体，器在靶材喷涂的真空罐体的进出口上设置安全阀，从而解决罐体内气压过大存在的风险，提高工作效率。

为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种用于靶材喷涂的真空罐体，所述真空罐体包括罐体及多个安全阀，所述罐体两端分别具有靶材进、出口，而所述靶材进、出口位置均与密封门配合，从而形成密封罐体；而所述多个安全阀分别安装在靶材进、出口上端，从而形成对罐体内低压状态喷涂的保护结构。

进一步，所述安全阀的数量为两个，且每个安全阀为低压控制安全阀并能将真空罐体内的压力控制在-0.03 mp到-0.04mp。

进一步，所述每个安全阀为一公斤，且公称直径200mm的控制阀。

进一步，所述罐体为中国专利授权公告号为CN203373415U中所公开的真空喷涂罐结构。

与现有技术相比较，本实用新型的优点：

本实用新型在靶材喷涂的真空罐体上设置安全阀，从而确保生产的安全；另一方面能保证靶材只预订低压真空环境内进行喷涂，从而确保靶材品质，同时解决罐体内气压过大存在的风险，提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型在实施例中结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

实施例：请参阅图1所示，一种用于靶材喷涂的真空罐体，所述真空罐体包括罐体1及两个安全阀2，所述罐体1两端分别具有靶材进、出口，而所述靶材进、出口位置均与密封门配合，从而形成密封罐体；而所述两个安全阀2分别安装在靶材进、出口上端，从而形成对罐体内低压状态喷涂的保护结构。

请参阅图1所示，前述每个安全阀2为低压控制安全阀并能将真空罐体内的压力控制在-0.03 mp到-0.04mp，所述每个安全阀为一公斤，且公称直径200mm的控制阀。

请参阅图1所示，前述罐体1为内部呈真空状态的双层式罐体及罐体两端的密封端盖，该双层式罐体包括内层罐体及外层罐体，所述外层罐体包裹与内层罐体外侧，并在内层罐体及外层罐体之间形成水冷空腔，所述水冷空腔内部设置有罐体水冷结构。

前述水冷结构为多条设置于水冷空腔内的循环水冷管，所述循环水冷管包覆于内层罐体上，且与内层罐体配合形成高效水冷结构。

前述双层式罐体上设置多个观察窗，所述多个观察窗呈一字型排列于罐体之上，每个观察窗上设置有防尘或刮尘清洁装置，前述观察窗的数量为 7 个，每个观察窗直径不小于 100mm，每个观察窗中心距地面高度为 1400mm，所述7个观察窗中位于中央位置的观察窗的直径为300mm，且该观察窗为法兰观察窗，所述法兰观察窗为设置有法兰盘的观察窗。

前述双层式罐体上设置有抽气口及排气口，所述排气口数量为 3 个，且每个抽气口均配置法兰盖。所述双层式罐体为圆形罐体。

前述密封端盖上设置有端盖观察窗，该端盖观察窗为法兰观察窗，所述密封端盖为配置有自锁装置的罐体端盖。（针对罐体的说明在中国专利授权公告号为CN203373415U的说明书附图中有所体现）。

以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。