[实用新型]一种尾气净化器进气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种废气净化装置用零部件，尤其涉及一种尾气净化器进气装置。

背景技术

在Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气中含有多种有毒废气，如SiHC₃、HCl、PH₃等，这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中，这些废气中有的能与水反应，生成SiO₂和HCl等气体，而HCl等气体和废气中的其他成分可以被水有效吸收，但是还有一部分不与水发生反应，因此，现有的净化设备大多数采用水吸与燃烧相结合的方式，达到有效去除有毒尾气的目的。对于此类的尾气，由于含有大量腐蚀性气体，进气装置通常被严重腐蚀，影响使用寿命，检修维护成本较高，因此研究一种有效抗腐蚀的进气装置十分有必要。

有鉴于上述现有的进气装置存在的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型尾气净化器进气装置，使其更具有实用性。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有的进气装置存在的缺陷，而提供一种新型尾气净化器进气装置，提高防腐蚀性能，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的尾气净化器进气装置，包括有进气口三通、进气口内管、进气口三通法兰和进气口内管法兰，

所述进气口三通为“┥”型管状结构，在所述进气口三通的三个管状结构的端口均设置有进气口三通法兰，所述进气口三通法兰的直径大于所述进气口三通管状结构的直径；

所述进气口内管的直径与所述进气口三通管状的直径相同，在所述进气口内管的端口设置有进气口内管法兰，所述进气口内管法兰与进气口三通法兰直径相同；

所述进气口三通一端的进气口三通法兰与所述进气口内管法兰固定连接；

所述进气口三通管径的内表面设置有内层。

更进一步的，前述的尾气净化器进气装置，还包括有气缸和气缸固定座，所述气缸固定座为底边向两侧外延的方形结构，所述气缸固定在气缸固定座上，通过气缸固定座外延的底边固定在一端的进气口三通法兰上。

更进一步的，前述的尾气净化器进气装置，所述气缸固定座与进气口三通相连接的位置、进气口三通内部设置清渣铲，用于清除进气口三通管道内壁的结晶物。

更进一步的，前述的尾气净化器进气装置，所述内层为耐腐蚀内层，如聚四氟乙烯耐腐蚀内层。

借由上述技术方案，本实用新型的尾气净化器进气装置至少具有下列优点：

本实用新型的尾气净化器进气装置适用于具有腐蚀性或者高温气体的净化装置，在进气口三通的内部设置有一层聚四氟乙烯耐腐蚀内层，达到良好的抗腐蚀、耐高温目的；进气口三通、气缸固定座和进气口内管均采用不锈钢材质制备，克服了目前采用的材料存在的装配不够密封、装卸不方便的缺陷，净化效果有效提高。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型尾气净化器进气装置的结构示意图；

图中标记含意：10.气缸，11.气缸固定座，12.进气口三通，13.进气口，14.进气口内管，15.清渣铲，16.进气口三通法兰，17.进气口内管法兰，18.内层。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本实用新型的具体实施方式详细说明如后。

如图1所示的本实用新型尾气净化器进气装置，包括有气缸10、气缸固定座11、进气口三通12、进气口13、进气口内管14、清渣铲15、进气口三通法兰16、进气口内管法兰17和内层18。

进气口三通12为“┥”型的管状结构，在进气口三通12的三个管状结构的端口均设置有进气口三通法兰16，其中进气口三通法兰16的直径大于进气口三通12管状结构的直径。

其中“┥”型管状结构的进气口三通12的横管端口为进气口13，气缸固定座11为底边向两侧外延的方形结构，气缸10固定在气缸固定座11上，通过气缸固定座11外延的底边固定在竖管的上部端口的进气口三通法兰16上，其中在气缸固定座11外延的底边两侧通过左右对称的固定螺栓固定在进气口三通法兰16上。