[实用新型]一种下膜机有效
申请号: | 201420819294.6 | 申请日: | 2014-12-19 |
公开(公告)号: | CN204340348U | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 林桂绮;周立;余学志;邱智中;邱树添 | 申请(专利权)人: | 安徽三安光电有限公司 |
主分类号: | B32B38/10 | 分类号: | B32B38/10 |
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地址: | 241000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 下膜机 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种下膜机,特别是涉及一种可将膜片自其内、外载框分离并回收的下膜机。
背景技术
半导体芯片的制造流程中,大致可分为两段,即前道制程和后道制程。前道制程主要是在衬底上定义出P、N电极,包括光刻和蒸镀等;而后道流程主要目的是获得规格一致的芯粒,包括划裂、测试、分选、目检、打包分类入库等。
目前,晶片经划裂后,即形成晶粒,为了方便接下来的测试和分选,一片晶片上的成千上万个晶粒粘附在蓝膜上,进而固定于扩张环上进行扩膜处理,使相邻晶粒之间的空隙增大,扩膜后的晶粒需在测试机台上进行光电性能的测试以及通过分选机台根据其光电性能对其进行不同规格的分类。当分选结束后,由于蓝膜上残存有少量晶粒,即残膜,以及扩张环需回收利用,因此,需将扩张环和残膜分离,即下膜处理。
车间常用的下膜处理方法是人工通过手动施力将扩张环的内环、外环和残膜分离,进而将残膜进行整理、分类、打包贴标等处理。但是人工操作存在着诸多不足:(1)单张残膜分离,耗费人力;(2)易出工伤事故;(3)分类易出错,易损坏扩张环等物料。因此,有必要提供一种提高残膜分离的自动化装置,提高生产效率。
发明内容
本实用新型旨在提供一种下膜机,以实现将加工组件分离,该加工组件由膜片及其内载框和外载框组成,该下膜机包括一机架以及安装于其上的送料机构、下膜机构、收料机构以及载台,其特征在于:所述下膜机构包括用以施加压力分离膜片和内外载框的下压平台、控制所述下压平台吸气和排气状态的气体控制装置;所述施压平台下方置有用于置放加工组件并具有开口结构的载台;所述开口结构下方置有回收内、外载框和膜片的收料机构。
优选的,所述送料机构包括连接于连接件两端的驱动装置和推手,所述驱动装置通过调节连接件的长度进而移动所述推手;所述驱动装置包括第一驱动装置和第二驱动装置,所述连接件包括第一连接件和第二连接件,所述推手包括第一推手和第二推手;所述第一驱动装置、第一连接件和第一推手组成第一送料机构;所述第二驱动装置、第二连接件和第二推手组成第二送料机构。
优选的,另一实施例所述送料机构又为机械手。
优选的,所述下膜机还包括第三驱动装置、第三连接件和气管,所述下压平台通过所述第三连接件与所述第三驱动装置连接,其通过所述气管与所述气体控制装置连接,所述第三驱动装置通过调节所述第三连接件的长度进而升降所述下压平台。
优选的,所述下压平台形状与所述加工组件匹配,为立方形、圆柱形,且其上下表面均具有气孔,分别为连接所述气管的第一气孔和使气体进出的第二气孔;所述第一气孔数目为1,所述第二气孔处于所述下压平台下表面中心位置,其数目为多个。
优选的,所述第一连接件、第二连接件、第三连接件均为伸缩杆;所述第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置均为电机;所述第一推手和第二推手形状均可为方形、弧形,所述第二推手高度小于等于所述加工组件的高度。
优选的,所述收料机构包括上端开口的内载框收料治具和外载框收料治具;所述内载框收料治具中心位置设置有放置膜片并可使内载框穿过的膜片支柱。
优选的,所述开口结构包括允许内载框和膜片通过而外载框无法通过第一开口和至少允许外载框通过第二开口;所述第一开口与所述下压平台、所述内载框收料治具处于同一轴心线上,所述第二开口与所述外载框处于同一轴心线上。
应用本实用新型提供的下膜机,可通过下压方式均匀施力将夹在内外载框之间的膜片分离,从而减少了由于人工操作用力不均匀导致的对内外载框的损害;同时采用机器作业,提高了下膜效率,减少了人力消耗。
附图说明
图1为本实用新型之实施例1的俯视结构示意图。
图2为本实用新型之实施例1的侧视结构示意图。
图3为本实用新型之实施例1的部分立体结构示意图。
图4为本实用新型之实施例2的俯视结构示意图。
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