[实用新型]一种石墨烯气敏传感元件有效
| 申请号： | 201420820822.X | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN204241405U | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 林伟豪;高致慧;杨勇;贺威;郑照强;洪泽华;王冰;李金艳 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡玉 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 烯气敏 传感 元件 | ||
1.一种石墨烯气敏传感元件，其特征在于，包括：硅衬底层、氧化硅层、电极层和石墨烯膜，所述氧化硅层位于硅衬底层上；所述电极层位于氧化硅层上；所述石墨烯膜位于氧化硅层上，并覆盖所述电极层。
2.根据权利要求1所述的石墨烯气敏传感元件，其特征在于，所述电极层包括两个以上的插电电极，所述两个以上的插电电极之间存在间隔。
3.根据权利要求2所述的石墨烯气敏传感元件，其特征在于，所述两个以上的插电电极之间的间隔为0.05~0.1mm。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的石墨烯气敏传感元件，其特征在于，所述石墨烯膜为单层的碳原子按六边形排列所构成的二维结构的石墨烯。
5.根据权利要求1至3任意一项所述的石墨烯气敏传感元件，其特征在于，所述电极层为加工在氧化硅层上的铬电极。
6.根据权利要求1至3任意一项所述的石墨烯气敏传感元件，其特征在于，所述硅衬底层的长度、宽度和厚度的尺寸比例为10:10:1。
7.根据权利要求6所述的石墨烯气敏传感元件，其特征在于，所述硅衬底层的长度、宽度和厚度的尺寸分别为5mm、5mm和500 。
8.根据权利要求1至3任意一项所述的石墨烯气敏传感元件，其特征在于，所述硅衬底层和氧化硅层的厚度比例为500:1。
9.根据权利要求8所述的石墨烯气敏传感元件，其特征在于，所述硅衬底层和氧化硅层的厚度分别为500和1。
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