[实用新型]固晶机焊头机构及固晶机有效
申请号: | 201420824279.0 | 申请日: | 2014-12-19 |
公开(公告)号: | CN204348689U | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 卢炳昌;杨文惠 | 申请(专利权)人: | 杨文惠 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 张明 |
地址: | 510000 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固晶机焊头 机构 固晶机 | ||
1.一种固晶机焊头机构,包括固晶臂、用于控制固晶机固晶臂上下运动的上下驱动控制装置和用于控制固晶机固晶臂旋转运动的旋转驱动控制装置,其特征在于:
所述上下驱动控制装置包括底座、音圈电机、滑块、直线导轨;
所述滑块配合安装在直线导轨上,所述直线导轨与音圈电机安装在所述底座上;所述音圈电机工作时带动所述滑块沿直线导轨上下滑动;
所述旋转驱动控制装置包括伺服马达、联轴器、底板和旋转轴;
所述伺服马达固定安装在所述底板上;所述伺服马达通过所述联轴器连接所述旋转轴带动所述底座旋转;
所述固晶臂与所述滑块相连。
2.根据权利要求1所述的固晶机焊头机构,其特征在于:所述底座上通过感应器支架安装有用于感知所述滑块上下运动并将感应信号传送给固晶机控制装置的直线感应器。
3.根据权利要求2所述的固晶机焊头机构,其特征在于:所述滑块与所述直线感应器之间安装有感应尺。
4.根据权利要求1至3任一所述的固晶机焊头机构,其特征在于:所述滑块上固定有旋转的气管连接头。
5.一种固晶机,其特征在于,所述固晶机安装有根据权利要求1至4任一项所述的固晶机焊头机构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造