[实用新型]一种光学影像仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及测量装置技术领域，更具体地说，涉及一种光学影像仪。

背景技术

硅材料被广泛应用于半导体领域。将硅料经过铸锭工艺形成纯净度较高、缺陷以及杂质较少的单晶硅锭或是多晶硅锭。将硅锭切割为设定尺寸的硅片，切割后的硅片可用于制备LED器件、OLED器件、IGBT器件以及MOS管等半导体器件，还可以用于制备太阳能电池片。

当制备的半导体器件或是太阳能电池时，需要切割不同尺寸的硅片。由于制备半导体器件或是太阳能电池时，对硅片尺寸要求较高，因此，需要对硅片的长度尺寸进行精确测量。现有的测量装置一般是采用光学影像仪对硅片尺寸进行测量。

参考图1，图1为现有技术中常见的一种光学影像仪的结构示意图。所述光学影像仪包括：图像采集装置11、仪器固定平台12以及移动样品平台13。所述移动样品平台13通过导轨固定在所述仪器固定平台12上，可以在所述仪器固定平台12上水平滑动。仪器固定平台12与图像采集装置11采集装置相对固定设置，二者之间具有固定的光源装置，所述光源装置位于所述移动样品平台13的导轨下放。图像采集装置11与计算机测试系统连接。

现有的光学影像仪在进行尺寸测量时，打开光源装置后，首先需要进行零点设置，将待测试样品14放置在移动平台上，将其放置在图像采集装置11下方，调节待测试样品14的位置，使得计算机系统模拟的测试图像中待测试 样品14的左侧边缘与模拟测试图像中的测试参考线对齐，将该位置作为零点。向左移动所述移动样品平台13，当图像采集装置11获取待测试样品14右侧边缘图像后即可自动测试出待测试样品14的长度。

现有的光学影像仪进行长度测量时，在测量多个待测试样品14时，每次测试均需要进行调零操作，测量的工作效率低。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光学影像仪，提高了测量的工作效率。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种光学影像仪，该光学影像仪包括：

仪器固定平台；

设置所述仪器固定平台上方设定高度位置的图像采集装置；

设置所述仪器固定平台上表面的导轨；

设置在所述导轨上的移动样品平台，所述移动样品平台可在所述导轨上相对所述器固定平台水平移动；

固定设置在所述图像采集装置与所述仪器固定平台之间，且位于所述导轨下方的光源装置；

其中，所述移动样品平台上表面固定有限位块，所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。

优选的，在上述光学影像仪中，所述限位块具有底面以及归零侧面；所述限位块的延伸方向垂直于所述移动样品平台的移动方向。

优选的，在上述光学影像仪中，所述底面的平整度小于0.005mm。

优选的，在上述光学影像仪中，所述归零侧面与所述底面的夹角范围为89.9°-90.1°，包括端点值。

优选的，在上述光学影像仪中，所述归零侧面垂直于所述底面。

优选的，在上述光学影像仪中，所述限位块为不锈钢限位块。

优选的，在上述光学影像仪中，所述限位块可拆卸的固定在所述移动样品平台上表面。

优选的，在上述光学影像仪中，在所述限位块的长度方向上，所述限位块的两端各设置有一个具有刻度的固定架，所述固定架用于调节所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。

优选的，在上述光学影像仪中，所述光学影像仪为具有所述限位块的VMS-4030G影像仪。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的光学影像仪包括：仪器固定平台；设置所述仪器固定平台上方设定高度位置的图像采集装置；设置所述仪器固定平台上表面的导轨；设置在所述导轨上的移动样品平台，所述移动样品平台可在所述导轨上相对所述器固定平台水平移动；固定设置在所述图像采集装置与所述仪器固定平台之间，且位于所述导轨下方的光源装置；其中，所述移动样品平台上表面固定有限位块，所述限位块的长度方向与所述移动样品平台的移动方向垂直。通过设置在所述移动样品平台上的限位块进行零点设置，采用所述光学影像仪进行长度测量时，只需要将待测试样品紧靠所述限位块设置，测量待测试样品背离所述限位块一端距离所述限位块的距离即可测量所述待测试样品的长度，且进行多次测量时，对所述限位块进行一次两点设置即可，相对于现有光学影像仪，在进行长度测量时，大大提高了测量的工作效率。

附图说明