[实用新型]实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置

权利要求书

1.一种实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，包括真空喷砂机（6）的砂尘过滤箱（6-1），其特征在于：还包括砂灰沉积箱（2）和由若干个喷淋头（3-1）组成的水雾除尘装置（3）；

所述砂尘过滤箱（6-1）与砂灰沉积箱（2）顶部所设的进风口（2-1），经由管路（1）相连通；

所述砂灰沉积箱（2）的顶部设有排气口（2-2），在其底下部位设有排水口（2-3）；

所述水雾除尘装置（3）设在砂灰沉积箱（2）的进风口（2-1）部位且其若干个喷淋头（3-1）沿进风口（2-1）圆周方向分开布置，而喷淋头（3-1）通过水阀与水源连通；

在工况下，来自砂尘过滤箱（6-1）的废气，通过水雾除尘装置（3）所生成的水雾，吸附掉其中所夹带的微细砂灰后进入砂灰沉积箱（2）并由排气口（2-2）排空；而夹带微细砂灰的污水，通过砂灰沉积箱（2）沉淀后由排水口（2-3）排出。

2.根据权利要求1所述的实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，其特征在于：在连通砂尘过滤箱（6-1）和砂灰沉积箱（2）的管路（1）上，还设有风机（1-1）。

3.根据权利要求1或2所述的实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，其特征在于：还包括污水处理站（7）和回用水站（9），所述污水处理站（7）与砂灰沉积箱（2）的排水口（2-3）管路连接；经污水处理站（7）处理生成的回用水，与回用水站（9）管路连接；回用水站（9）经由水泵（4-1）与水雾除尘装置（3）的喷淋头（3-1）管路连接。

4.根据权利要求1或2所述的实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，其特征在于：所述砂灰沉积箱（2）顶部的排气口（2-2），与垂直布置的具有风帽（8-1）的排气管（8）相连接。

5.根据权利要求1所述的实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，其特征在于：所述喷淋头（3-1）的个数控制在4～25个范围内。