[实用新型]一种PVD设备的维护工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种PVD设备的维护工具。

背景技术

目前PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)设备进行PM(precision maintenance，专业维护)时，经常要使用钢刷和打磨砂纸，每次用大块砂纸和钢刷交替进行，造成砂纸的大量浪费，而且交替更换这两种操作工具，操作比较麻烦且浪费时间，直接影响PM的时间，进而影响设备的稼动率，耽误生产时间，浪费生产产能。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能提高使用效率和减少浪费的PVD设备的维护工具。

实现本实用新型目的的技术方案是一种PVD设备的维护工具，包括相互连接的刷头和刷柄；所述刷头的一侧面上设置刺刷；刷头的另一侧面上粘贴多层砂纸，位于最外层的砂纸的砂面朝外；在所述多层砂纸的外部设置保护盖。

所述多层砂纸为多张由双面胶相互粘接在一起的砂纸组成；每张砂纸的形状大小与刷头相匹配。

所述多层砂纸为一张折叠在一起的砂纸构成；砂纸折叠后的形状大小与刷头相匹配。

所述保护盖与刷头扣接，且侧面设置砂纸出口。

采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：(1)本实用新型主要使用于镀膜、半导体等设备日常维护，保养时清洁工作，结构简单，容易制作，可以节省更换工具的时间，提高生产效率，进而提升生产线产能。

(2)本实用新型可以有效的提高砂纸的利用率，减少浪费。

(3)本实用新型由于使用砂纸打磨时有手柄握住，可以进一步提高使用效率。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型的结构示意图。

附图中标号为：

刷头1、刷柄2、刺刷3、砂纸4。

具体实施方式

(实施例1)

见图1，本实施例的一种PVD设备的维护工具，包括相互连接的刷头1和刷柄2；刷头1的一侧面上设置刺刷3；刷头1的另一侧面上粘贴多层砂纸4，位于最外层的砂纸4的砂面朝外；在多层砂纸4的外部设置保护盖。多层砂纸4为一张折叠在一起的砂纸4构成；砂纸4折叠后的形状大小与刷头1相匹配。保护盖与刷头1扣接，且侧面设置砂纸出口。这样当需要使用较大面积的砂纸时，砂纸4可以从保护盖侧面的砂纸出口拉出。当然多层砂纸4也可以为多张由双面胶相互粘接在一起的砂纸4组成；每张砂纸4的形状大小与刷头1相匹配。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。