[实用新型]一种隔振工作台

说明书

技术领域

本实用新型涉及精密测量与测量设备领域，尤其是一种承载精密测量装置的隔振工作台。

背景技术

近年来，随着精细加工技术的不断进步，尤其是在半导体纳米制程工艺、微机电系统、纳米复合材料、超精密加工等领域，迫切需要表面微观形貌测量的相关技术和测量仪器。在表面微观形貌测量技术中，干涉显微测量技术是一种具有高精度、快速性的非接触测量方法。在对表面微观形貌进行测量的过程中，必须在一个具有良好隔振性能的测量工作台上进行，否则任何微小的振动都会对其测量结果产生很大影响。因此，亟待有一个具有优异的隔振性能、能够有效地吸收振动能量的工作台。

发明内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种有效地吸收振动能量的工作台，并且结构简单、成本低。

实现实现上述目的，本实用新型采用的技术解决方案为：

一种隔振工作台，包括箱体、安装于箱体底部的若干减震脚轮、安装于箱体中的若干隔振支腿组件及支撑于隔振支腿组件上的承载台；箱体包括侧壁，所述箱体内设有承载隔振支腿组件的中间平台架，隔振支腿组件安装在中间平台架上并包围于侧壁内；隔振支腿组件包括隔振支腿及连接隔振支腿的高度控制阀；所述隔振支腿包括外壳、位于外壳上方的承物板、自承物板延伸入外壳内的活塞杆、位于外壳内的第一隔板、位于外壳内并在第一隔板下方的第二隔板；所述外壳包括顶壁及底壁，第一隔板与顶壁之间形成主气室；第一隔板及第二隔板之间形成第一副气室；第二隔板及底壁之间形成第二副气室；所述第一隔板上设有连通主气室及第一副气室的第一节流孔；第二隔板上设有连通第一副气室及第二副气室的第二节流孔；所述外壳上设有连通主气室的主气室进气口；所述高度控制阀包括用以与空气压缩机连通的进口以及连接主气室进气口的出口。

上述隔振工作台中，高度控制阀带有控制杆，控制杆的自由端装有与承载台底部接触的触头，控制杆自由上下运动，控制杆下降使高度控制阀打开，增压空气，控制杆抬起使高度控制阀关闭。

上述隔振工作台中，所述第一节流孔的开孔面积大于第二节流孔的开孔面积。

上述隔振工作台中，所述活塞杆插入外壳的位置设有隔膜密封件。

上述隔振工作台中，所述箱体的一个侧面设有对开门。

上述隔振工作台中，所述箱体中具有定平台框架，定平台框架包括底盘架和4个支撑竖梁，所述中间平台架安装在4个支撑竖梁并与底盘架平行设置。

本实用新型与现有技术相比，其显著优点：

结构简单，由于采用了隔振脚轮，有可随意变换位置、灵活、方便的特点；采用气动隔振技术，具有承载、隔振、缓冲复位能力，对一些小幅度的地板振动具有很好的隔绝效果，使平台在很短的时间内稳定，降低作业难度；采用的隔振支腿组件具有双副气室串联结构，具有较好的隔振效果。

附图说明

图1是本实用新型隔振工作台的结构示意图。

图2是本实用新型隔振工作台中定平台框架的结构示意图。

图3是本实用新型隔振工作台中隔振支腿的结构示意图。

图4是本实用新型隔振工作台中高度控制阀的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细的描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

请参阅图1所示，本实用新型公开一种隔振工作台，包括箱体1、安装于箱体1底部的若干减震脚轮2、安装于箱体1中的若干(三个或以上)隔振支腿组件3及支撑于隔振支腿组件3上的承载台4。