[实用新型]一种单晶炉真空过滤装置

权利要求书

1.一种单晶炉真空过滤装置，其特征在于，包括：罐体(1)、盖子(2)、进气口(3)、出气口(4)、清理口(5)及排污口(6)，所述盖子(2)设置于罐体(1)顶部，所述清理口(5)设置于所述盖子(2)上，所述排污口(6)设置于所述罐体(1)底部，所述进气口(3)及出气口(4)均设置于所述罐体(1)上，所述罐体(1)内设置有多个滤芯(8)。

2.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：还包括设置于所述罐体(1)内的花板(7)，所述花板(7)上设置有多个法兰(9)，所述法兰(9)与所述滤芯(8)对应设置。

3.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述罐体(1)的底部为锥形。

4.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述滤芯(8)包括滤网层及支撑层，所述滤网层环绕在所述支撑层上，所述滤芯(8)的材质为金属。

5.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述进气口(3)的进口端设置有滤过板。

6.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述进气口(3)与单晶炉废气口连通。

7.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述出气口(4)与真空泵连接。