[实用新型]磁极溅射装置

权利要求书

1.一种磁极溅射装置，包括：靶材、用于支撑所述靶材的背板、位于所述背板的相对于所述靶材的另一侧并与所述背板间隔设置的磁铁系统，其特征在于，所述磁铁系统包括至少两个条形磁铁，每个所述条形磁铁与相邻所述条形磁铁的磁极相反；以及每个条形磁铁上均设有的用于带动每个所述条形磁铁的至少一端在靠近或远离所述靶材的方向上进行往返运动的驱动装置。

2.根据权利要求1所述的磁极溅射装置，其特征在于，所述磁极溅射装置还包括用于支撑所述背板的隔离板。

3.根据权利要求1所述的磁极溅射装置，其特征在于，所述背板为铜板。

4.根据权利要求1所述的磁极溅射装置，其特征在于，所述驱动装置为伺服马达。

5.根据权利要求1所述的磁极溅射装置，其特征在于，每个所述条形磁铁的两端分别设有一驱动装置。

6.根据权利要求1所述的磁极溅射装置，其特征在于，每个所述条形磁铁的一端设置有一个带动该端在靠近或远离所述靶材的第一方向上进行往返运动的驱动装置；所述条形磁铁的另一端设置一个带动该端在靠近或远离所述靶材的方向上与所述第一方向做相反方向运动的驱动装置。

7.根据权利要求1所述的磁极溅射装置，其特征在于，每个所述条形磁铁的一端设有一个驱动装置。

8.根据权利要求7所述的磁极溅射装置，其特征在于，相邻两个所述条形磁铁的相邻端均安装驱动装置或均未安装驱动装置。

9.根据权利要求6或8所述的磁极溅射装置，其特征在于，相邻的两个所述条形磁铁的相邻端分别设置一个在靠近或远离所述靶材的方向上做相同方向运动的驱动装置。

10.根据权利要求1至8任一项所述的磁极溅射装置，其特征在于，在所述驱动装置的带动下，所述条形磁铁所在的延长线与所述靶材所在的延长线的夹角范围为0°至15°。