[实用新型]一种回收高纯二氧化硅的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种回收高纯二氧化硅的装置，用于回收制造光纤预制棒产生的二氧化硅粉末。

背景技术

光纤预制棒主要有四种制造工艺，即VAD（轴向气相沉积法）、OVD（外部气相沉积法）、PCVD（低温等离子气相沉积法）和MCVD（改进的化学气相沉积法）。VAD工艺主要废气是二氧化硅粉末颗粒、氯化氢和掺杂剂化合物等；OVD工艺主要废气是二氧化硅粉末颗粒、氯化氢；PCVD工艺主要废气是二氧化硅粉末颗粒、氯气等；MCVD工艺主要废气是二氧化硅粉末颗粒、氯气和掺杂剂化合物等。

光纤预制棒四种制造工艺中主要废气物为二氧化硅粉末颗粒，大部分被废弃处理。随着光纤预制棒市场竞争压力，一方面提高生产工艺原料利用率，另一方面合理处理废弃物，提高利用价值。

VAD工艺主要以四氯化硅为原材料，进行高温水解反应，生产二氧化硅粉末颗粒，附着在母棒上，形成多孔二氧化硅粉末棒。多余的二氧化硅粉末颗粒通过排气装置被抽走，进行洗涤设备处理后，作为废弃物处理。在原料中掺杂四氯化锗来提高折射率，故二氧化硅粉末颗粒中含有二氧化锗。若排气装置为金属材质，会有金属杂质混入二氧化硅粉末颗粒。在这种情况下很难回收到高纯二氧化硅。

中国实用新型专利CN201320573858.8公开了多晶硅生产中的二氧化硅回收装置，包括：一过滤器，所述过滤器出口通过第一气动开关阀、第二气动开关阀连接一位于漏斗型料斗上端的进口，一喷射器，所述喷射器喷嘴对准漏斗型料斗底部，一存储料仓，用于承载落入的二氧化硅粉末，所述漏斗型料斗一底部出口通过第三气动开关阀连接存储料仓。

中国发明专利201310523348.4公开一种二氧化硅的提纯方法，依次包括步骤：1）将一定量的250~45微米二氧化硅、水、盐酸、氟化物、矿化剂加入到内衬聚四氟乙烯的不锈钢容器中，于90~150℃下处理24~36小时后，冷却至室温；2）将冷却后的混合物过滤，滤液用石灰水处理并回收，然后用去离子水清洗至中性后烘干，即得到提纯后的二氧化硅。

中国发明专利200910023906.4涉及一种太阳能多晶硅生产过程中尾气回收液相二氧化硅提纯方法。其特征在于该方法步骤如下：a）将回收液相二氧化硅首先进行加热减量的排除，b）再次进行灼烧减量的排除，c）酸碱处理，d）球磨处理，球磨完毕后制得二氧化硅的质量指标：二氧化硅质量百分含量99.5～99.99%，平均粒径1～100nm，比表面积100～200m2/g，pH值3～6，得到合格的二氧化硅产品。

发明内容

本实用新型的目的是针对上述不足之处提供一种回收高纯二氧化硅的装置，本实用新型解决二氧化硅粉末颗粒中含有其他金属杂质问题，得到高纯二氧化硅粉末。因此本实用新型将废弃物二氧化硅回收处理成高纯二氧化硅，增加附加收益，降低光纤预制棒的生产成本。

一种回收高纯二氧化硅的装置是采取以下技术方案实现：

一种回收高纯二氧化硅的装置包括排气机、排气管、洗涤塔、引风机、碱池、泵、混合池、处理池、过滤池。

排气机安装在多孔二氧化硅粉末棒沉积腔上部一侧，排气机进气口与多孔二氧化硅粉末棒沉积腔相连通，排气机出气口通过排气管与洗涤塔下部洗涤塔进气口相连通，洗涤塔内装有填料层，洗涤塔内顶部装有喷淋头，去离子水注入器一通过管道与喷淋头相连接，引风机进风口与洗涤塔上部的出气口相连，引风机出风口通过排气管道将被抽废气排入碱池，碱池内装有碱液，混合池内装有搅拌器一，混合池装有浓盐酸注入器和pH控制器一，通过ph控制器一控制浓盐酸注入器注入量，将浓盐酸添加入混合池，泵进水口通过管道与洗涤塔底部连通，泵出水口通过管道与混合池顶部相连。

混合池下部安装有处理池，处理池内装有阳极、阴极，阳极外部安装有高分隔膜，处理池内装有搅拌器二，混合池底部通过管道、控制阀一与处理池上部相连通，处理池装有去离子水注入器二。

处理池下部安装有过滤池，过滤池内装有过滤网，过滤池装有去离子水注入器三和pH控制器二。处理池底部通过管道、控制阀二与过滤池上部相连通。处理池底部设有二氧化硅混合液排出口，二氧化硅混合液排出口装有控制阀三，控制二氧化硅混合液排出。

一种回收高纯二氧化硅的方法如下：

将轴向气相沉积法VAD工艺制造光纤预制棒中多余二氧化硅粉末颗粒通过排气机、排气管从多孔二氧化硅粉末棒沉积腔上部抽走，进入洗涤塔内洗涤；