[实用新型]装舟工作台

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶片领域，尤其涉及晶片的装舟工作台。

背景技术

在晶片的制作过程中，将一定数量的晶片放置在一个承载体上称为装舟。在装舟的过程中，环境的湿度、温度、特别是洁净度，对后期晶片的加工有着至关重要的影响，因此排片装舟区域需保持较高的洁净度。目前，通过在工作上的上方设置一个开放式的抽气装置（如图3所示），将工作台处的灰尘、粉末等污染物抽走，降低环境对晶片的污染，保证晶片的洁净。但是，由于工作台仍处于开放状态，且在工作时，操作人员的手直接接触晶片，其洁净度很容易受周边环境影响。同时，抽气装置极有可能会将工作台四周的污染物也抽走，一是增加了抽气装置的运行负担，降低了其使用效率；二是，在这一过程中，污染物可能会通过晶片，造成二次污染，从而降低了晶片洁净度。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，操作方便，能提高晶片的洁净度和设备使用效率的装舟工作台。

本实用新型的技术方案是：包括工作台和设置在工作台上的封闭式的抽气装置，所述抽气装置包括抽气罩、抽气管、吹气管、感应器和一对套袖，所述抽气罩罩设于所述工作台上，所述抽气罩具有出气口、吹气通道、进出专用门和一对手臂进出孔，所述进出专用门铰接设于所述抽气罩的侧面，所述吹气通道设于所述抽气罩的侧壁内且位于所述进出专用门的上方，所述一对手臂进出孔设于所述抽气罩的前面，所述出气口设于所述抽气罩的后面；

所述抽气管和吹气管分别连接所述出气口和吹气通道，所述感应器设于所述抽气罩的侧壁上且位于所述进出专用门的上方，所述一对套袖分别连接所述一对手臂进出孔。

所述吹气通道的宽度≥所述进出专用门的宽度。

所述吹气通道的下端向外倾斜，倾斜角度为3°-8°。

本实用新型结构简单，操作方便，使用时，由于抽气罩和工作台形成一个封闭式的工作空间，使得除尘的空间大大减小，提高了抽气装置的利用率，降低其运行负担，同时也提高了晶片的洁净度。由于晶片由进出专用门输入和输出，在进出专用门打开时，通过吹气通道吹出的气体在进出专用门上形成一道“气帘”，阻止外部含有灰尘、杂质的空气进入到抽气罩内，大大提高了晶片的洁净度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是图1中A-A剖视图，

图3是背景技术中的结构示意图；

图中1是工作台，2是抽气装置，21是抽气罩，211是出气口，212是吹气通道，213是进出专用门，214是手臂进出孔，22是抽气管，23是吹气管，24是感应器，25是套袖。

具体实施方式

本实用新型如图1-2所示，包括工作台1和设置在工作台1上的封闭式的抽气装置2，所述抽气装置2包括抽气罩21、抽气管22、吹气管23、感应器24和一对套袖25，所述抽气罩21罩设于所述工作台1上，所述抽气罩21具有出气口211、吹气通道212、进出专用门213和一对手臂进出孔214，所述进出专用门213铰接设于所述抽气罩21的侧面，所述吹气通道212设于所述抽气罩21的侧壁内且位于所述进出专用门213的上方，所述一对手臂进出孔214设于所述抽气罩21的前面，所述出气口211设于所述抽气罩21的后面；

所述抽气管22和吹气管23分别连接所述出气口211和吹气通道212，所述感应器24设于所述抽气罩21的侧壁上且位于所述进出专用门213的上方，用于控制所述吹气管23内气体的启动和停止；所述一对套袖25分别连接所述一对手臂进出孔214，通过所述一对手臂进出孔214伸入至一对套袖25内在所述抽气罩21内进行装舟排片。

所述吹气通道212的宽度≥所述进出专用门213的宽度。

所述吹气通道212的下端向外倾斜，倾斜角度为3°-8°，用于扩大阻挡面积，避免气体撞射在所述抽气罩上。

本实用新型使用时，晶片由进出专用门输入和输出，通过抽气管对抽气罩内进行除尘，再通过一对套袖实现操作时对晶片的隔离。由于进出专用门的打开和关闭均会将外部的含有灰尘、杂质的空气带入抽气罩内，从而影响晶片的质量，此时在进出专用门的上方设置感应器，当进出专用门打开时，感应器接收信号，吹气管启动，通过在进出专用门上设置一道“气帘”，阻止外部的空气进入；当进出专用门关闭时，感应器接收信号，吹气管关闭。