[实用新型]高稳定性ITO玻璃刻蚀系统

权利要求书

1. 一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，它包括相连接的刻蚀组件（1）和水洗组件（2），其特征在于：所述刻蚀组件（1）和所述水洗组件（2）安装有多个分离式传动组件（4），所述分离式传动组件（4）包括安装在所述刻蚀组件（1）或所述水洗组件（2）外的第一磁力轮（421）、安装在所述刻蚀组件（1）或所述水洗组件（2）内且与所述第一磁力轮（421）相对应的第二磁力轮（422）、端部与所述第二磁力轮（422）相连接的滚轴（43）以及安装在所述滚轴（43）上且间隔设置的滚轮（44）以及用于带动所述第一磁力轮（421）转动的传动机构（41）。

2.根据权利要求1所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述水洗组件（2）设置于所述刻蚀组件（1）的下方，所述刻蚀组件（1）通过安装在其端部的升降组件（3）与所述水洗组件（2）相连接。

3.根据权利要求1或2所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述刻蚀组件（1）和所述水洗组件（2）内安装有设置在所述分离式传动组件（4）上方且与其相配合的多个间隙自适应压片滚轮（5），所述间隙自适应压片滚轮（5）包括：

滚轮外套（51），所述滚轮外套（51）内圈设置有间隔的多个凸起（511）；

卡套（52），所述卡套（52）设置有与所述凸起（511）相配合的多个卡齿（521），它通过所述卡齿（521）卡合于所述滚轮外套（51）的一侧；

支撑件（54），所述支撑件（54）包括设置于所述滚轮外套（51）另一侧的第一柱体（541）以及与所述第一柱体（541）侧面相连接且插入所述滚轮外套（51）和所述卡套（52）的第二柱体（543），所述第一柱体（541）的直径大于所述凸起（511）内端形成的圆形直径；

弹性件（53），所述弹性件（53）放置在被所述支撑件（54）和所述卡套（52）围住的所述凸起（511）之间，所述弹性件（53）向所述滚轮外套（51）中心轴的方向延伸。

4.根据权利要求1或2所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述刻蚀组件（1）包括依次相连接的预处理单元（11）、刻蚀单元（12）和水洗单元（13），所述预处理单元（11）包括分别安装于其两端部的第一离子泵（113）、安装在所述第一离子泵（113）之间的紫外灯（111）以及用于向其内导入氧气的氧气阀（112），所述刻蚀单元（12）包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第一喷淋管（121）、设置于其内部并位于所述第一喷淋管（121）上游的第一液刀（122）以及设置于其内部并位于所述第一喷淋管（121）下游的一组第一风刀（123）以及用于收集刻蚀液并将再导入所述第一喷淋管（121）和所述第一液刀（122）中的循环机构（124），所述水洗单元（13）包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第二喷淋管（131）、设置于其内部并位于所述第二喷淋管（131）上游的第二液刀（132）以及设置于其内部并位于所述第二喷淋管（131）下游的第一超级液刀（133）。

5.根据权利要求4所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述第一液刀（122）和所述第二液刀（132）的结构相同，它们均包括相对应合盖的两块液刀板（134）、形成于两块所述液刀板（134）之间的第一腔体（135）、形成于两块所述液刀板（134）下端部的出液条缝（138），两块所述液刀板（134）之间还形成有与所述第一腔体（135）相连通的第二腔体（137），所述第二腔体（137）与所述出液条缝（138）相连通，所述第二腔体（137）的截面为圆形或者椭圆形。

6.根据权利要求4所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述刻蚀组件（1）还包括连接于所述预处理单元（11）和所述刻蚀单元（12）之间的第一缓冲单元（14）以及连接于所述刻蚀单元（12）和所述水洗单元（13）之间的第二缓冲单元（15），所述第一缓冲单元（14）的两端分别安装有一组第二风刀（141），所述第二缓冲单元（15）内设有一组第三风刀（151），所述第一缓冲单元（14）在其与所述刻蚀单元（12）的连接处以及所述第二缓冲单元（15）在其与所述刻蚀单元（12）的连接处设有防结晶机构（142）。