[实用新型]磁控溅射三元催化器陶瓷真空镀贵重金属膜装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种磁控溅射三元催化器陶瓷真空镀贵重金属膜装置。

背景技术：

三元催化器是安装在汽车排气系统中最重要的机外净化装置，它可将汽车尾气排出的CO一氧化碳、HC碳氢化合物和NO_X氮氧化物等有害气体通过氧化和还原作用转变为无害的二氧化碳、水和氮气。由于这种催化器可同时将废气中的三种主要有害物质转化为无害物质，通常，三元催化器为陶瓷载体预烧结、催化层涂覆、高温烧结后得到含有重金属的催化剂载体。但由于涂覆或者浸镀的过程中增加了工序而且浪费了溶液，因此如何简单制备高结合强度的催化剂载体成为有待解决的技术问题。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种磁控溅射三元催化器陶瓷真空镀贵重金属膜装置。

上述的目的通过以下的技术方案实现：

一种磁控溅射三元催化器陶瓷真空镀贵重金属膜装置，其组成包括：堇青石陶瓷载体，其特征是：将所述的堇青石陶瓷载体设置于磁控溅射装置的真空室内，将所述的堇青石陶瓷载体的内孔径套在所述的磁控溅射装置内的金属靶上，真空室通过气管与注汽机连接，所述的金属靶与通电器电连接。

有益效果：

1. 本实用新型将堇青石陶瓷放置于磁控溅射装置的真空室内，利用磁控溅射装置产生的磁场，使得金属靶产生偏差电流，金属靶作为负极，从而使堇青石陶瓷表面带有磁层体；所述金属靶的材料为溅射贵重金属，所述贵重金属为铂、铑、钯；在金属靶产生偏差电流的同时，对磁控溅射装置的真空室进行加热，温度控制在350℃-700℃；抽出真空室内的气体，当真空室内的真空度小于2×10^-4Pa时，向真空室内充入设定浓度的氩气；向金属靶通入电流，进行溅射镀膜；金属靶产生的离子在电场的作用下加速飞向堇青石陶瓷孔径内表面的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向堇青石陶瓷内孔径表面；氩离子在电场的作用下急速轰击金属靶，溅射出大量的金属靶靶材原子或分子，呈中性的靶原子或分子沉积在堇青石内孔径表面，形成贵重金属薄膜。避免了复杂的工序和浸镀中原料的浪费并提高了重金属膜的缜密性及均质性。

附图说明：

附图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：

实施例1：

一种磁控溅射三元催化器陶瓷真空镀贵重金属膜装置，其组成包括：堇青石陶瓷载体1，将所述的堇青石陶瓷载体设置于磁控溅射装置2的真空室3内，将所述的堇青石陶瓷载体的内孔径4套在所述的磁控溅射装置内的金属靶5上，真空室通过气管6与注汽机7连接，所述的金属靶与通电器8电连接。