[实用新型]一种晶圆存储柜的氮气填充装置

权利要求书

1.一种晶圆存储柜的氮气填充装置，包括晶圆存储柜以及晶圆传送盒，所述晶圆存储柜用于存储所述晶圆传送盒，所述晶圆传送盒用于存储晶圆，其特征在于，

所述晶圆传送盒上设有氮气进气口以及空气排出口；

所述晶圆存储柜上设有的进气管道以及排气管道，所述进气管道的一端与所述氮气进气口连通，其另一端与氮气源连接，所述排气管道的一端与所述空气排出口连通，其另一端与回收容器连接，所述氮气源与回收容器之间设有用于分离氮气的压缩机，所述压缩机将分离后的氮气输送至所述氮气源，同时将分离后的空气排放至外界；其中，所述进气管道上设有第一启闭阀，所述排气管道上设有第二启闭阀。

2.根据权利要求1所述的晶圆存储柜的氮气填充装置，其特征在于，所述氮气填充装置还包括控制单元以及氮气填充计时模块，所述氮气填充计时模块用于预设氮气填充时间并监测氮气填充时间，并将监测的氮气填充时间值反馈至所述控制单元，所述控制单元根据预设氮气填充时间控制所述第一启闭阀的开关。

3.根据权利要求2所述的晶圆存储柜的氮气填充装置，其特征在于，所述控制单元还连接氮气流量模块，所述氮气流量模块用于预设氮气填充流量并监测氮气填充流量，并将监测的氮气填充流量值反馈至所述控制单元，所述控制单元控制所述第一启闭阀的开关。

4.根据权利要求1～3任一所述的晶圆存储柜的氮气填充装置，其特征在于，所述空气排出口设于所述晶圆传送盒的底部。

5.根据权利要求1～3任一所述的晶圆存储柜的氮气填充装置，其特征在于，所述排气管道上设有抽气泵，所述抽气泵将空气抽离所述晶圆传送盒。

6.根据权利要求1～3任一所述的晶圆存储柜的氮气填充装置，其特征在于，所述晶圆传送盒设有干燥单元，所述干燥单元用于干燥所述晶圆传送盒内的水汽。

7.根据权利要求1所述的晶圆存储柜的氮气填充装置，其特征在于，所述晶圆存储柜内设有氮气填充平台，所述氮气填充平台用于放置所述晶圆传送盒。

8.根据权利要求7所述的晶圆存储柜的氮气填充装置，其特征在于，所述晶圆存储柜内设有传送系统，所述传送系统将所述晶圆传送盒传送至所述氮气填充平台上，以对所述晶圆传送盒填充氮气。