[实用新型]一种动态配气仪

权利要求书

1.一种动态配气仪，其特征在于，包括原料气通路、稀释气通路和混合管道，所述原料气通路和稀释气通路均与所述混合管道连通，所述原料气通路上设有第一流量控制器，所述稀释气通路上设有第二流量控制器，所述第二流量控制器通过一号控制阀分别与所述第一流量控制器及混合管道连接。

2.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述第一流量控制器的入口并联有若干原料气接入支路，所述若干原料气接入支路的每条支路上均设有电磁阀，用以控制相应的原料气通入所述第一流量控制器。

3.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述一号控制阀为一进两出的三通阀，其进口与所述第二流量控制器连接，出口分别连接所述第一流量控制器和混合管路。

4.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述一号控制阀为两个二位二通电磁阀组成，所述第二流量控制器通过其中一个二位二通电磁阀与所述混合管道连接，所述第二流量控制器通过另一个二位二通电磁阀与所述第一流量控制器连接。

5.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述混合管道为两进一出的三通管，其两个进口分别连接所述原料气通道和稀释气通道，出口为目标气出气口。

6.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述第一流量控制器与第二流量控制器均采用层流差压式测量原理的流量控制器，其内部均自带温度和压力补偿。

7.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述原料气通路上设有一进两出的三通阀，其进口与第一流量控制器连接，其中一个出口连接所述混合管道，另一出口为排气口。