[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置

权利要求书

1.一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，是由：车体(1)、上绝缘块(2)、一号磁靴(3)、倒U形磁铁护套(4)、强磁N极(5)、下绝缘座(6)、传动导向杆(7)、传动系统传动轮(8)、T形磁铁护套(9)、强磁S极(10)、二号磁靴(11)、螺钉(12)构成；其特征在于：车体(1)上方设置至少五个上绝缘块(2)，下方设置至少五个下绝缘座(6)，上绝缘块(2)的上方与倒U形磁铁护套(4)之间设置一号磁靴(3)，倒U形磁铁护套(4)内设置强磁N极(5)，下绝缘座(6)下方设置传动导向杆(7)，传动导向杆(7)下方与传动系统传动轮(8)对应设置；倒U形磁铁护套(4)上方设置T形磁铁护套(9)，T形磁铁护套(9)与倒U形磁铁护套(4)之间预留磁场作用空间，T形磁铁护套(9)内设置强磁S极(10)，T形磁铁护套(9)上方设置二号磁靴(11)，T形磁铁护套(9)通过螺钉(12)固定在二号磁靴(11)上，二号磁靴(11)设置在真空腔室顶部(13)。

2.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，其特征在于：所述的上绝缘块(2)的剖面为H形，上绝缘块(2)的上下方分别构成上卡槽与下卡槽，下卡槽与车体(1)上方对应设置，上卡槽与一号磁靴(3)的下方对应设置。

3.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，其特征在于：所述的T形磁铁护套(9)内设置磁铁空腔，磁铁空腔内设置强磁S极(10)；倒U形磁铁护套(4)内设置磁铁空腔，磁铁空腔内设置强磁N极(5)，倒U形磁铁护套(4)内的强磁N极(5)与一号磁靴(3)的上方对应设置。

4.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，其特征在于：所述的下绝缘座(6)的上方设置上卡槽，下方设置弧形凹槽，上卡槽与车体(1)下方对应设置，弧形凹槽与传动导向杆(7)对应设置。

5.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，其特征在于：所述的T形磁铁护套(9)与倒U形磁铁护套(4)位于同一垂直线上。

6.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，其特征在于：所述的T形磁铁护套(9)内的强磁S极(10)垂直于二号磁靴(11)。

7.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，其特征在于：所述的强磁N极(5)采用3200-4500高斯的钐钴磁铁，强磁S极(10)采用3800-5000高斯的钐钻磁铁。