[实用新型]一种夹持机构垂直工艺位置的控制装置

权利要求书

1.一种夹持机构垂直工艺位置的控制装置，其特征在于，包括可编程计算机控制器以及设置在工艺腔室内的夹持机构与光电传感器，所述光电传感器与所述夹持机构对应设置，用于感应所述夹持机构的垂直位置并输出信号，所述可编程计算机控制器与所述光电传感器连接，用于接收所述光电传感器输出的信号，所述可编程计算机控制器与所述夹持机构连接，用于控制所述夹持机构。

2.根据权利要求1所述的夹持机构垂直工艺位置的控制装置，其特征在于，所述夹持机构包括升降伺服电机、升降导杆和夹持盘，所述升降伺服电机设在所述升降导杆上，所述升降导杆连接所述夹持盘，所述可编程计算机控制器连接所述伺服电机。

3.根据权利要求2所述的夹持机构垂直工艺位置的控制装置，其特征在于，所述升降伺服电机通过丝杠与所述升降导杆连接，用于将转动运动转化为线性运动。

4.根据权利要求2所述的夹持机构垂直工艺位置的控制装置，其特征在于，所述光电传感器对应所述升降伺服电机垂直设置，用于感应所述升降伺服电机的垂直位置。

5.根据权利要求4所述的夹持机构垂直工艺位置的控制装置，其特征在于，所述垂直位置包括取放位置、冲洗甩干位置和工艺位置，所述光电传感器与所述取放位置、冲洗甩干位置和工艺位置对应设置。

6.根据权利要求1所述的夹持机构垂直工艺位置的控制装置，其特征在于，所述光电传感器采用U型微型光电传感器PM-L24P。

7.根据权利要求1所述的夹持机构垂直工艺位置的控制装置，其特征在于，所述可编程计算机控制器上包括位置信号接收模块、信号记录与计算模块、通讯模块、信号输出模块和显示模块。

8.根据权利要求1所述的夹持机构垂直工艺位置的控制装置，其特征在于，所述可编程计算机控制器采用贝加莱可编程计算机控制器。