[发明专利]透明阻气膜的制造方法和透明阻气膜的制造装置

权利要求书

1.一种透明阻气膜的制造方法，在该制造方法中采用了卷对卷方式，其中，

该透明阻气膜的制造方法包括在输送长条带状的树脂基板的过程中，将成分不同的多种薄膜分别在所述树脂基板上层叠多层的工序，

在薄膜形成区域设有数量与所述薄膜的种类数量对应的蒸发源，

使所述长条带状的树脂基板交替地穿过所述薄膜形成区域和非形成区域，并在所述薄膜形成区域中使多个所述蒸发源中含有的材料分别附着在所述树脂基板上，从而在所述树脂基板上形成层叠了多层所述多种薄膜而成的透明阻气层。

2.根据权利要求1所述的透明阻气膜的制造方法，其中，

在所述薄膜形成区域中排列有多个所述蒸发源，

在所述薄膜形成区域，沿着所述蒸发源的排列方向输送所述树脂基板。

3.根据权利要求1或2所述的透明阻气膜的制造方法，其中，

多个所述蒸发源所含有的材料各不相同，所述材料包含金属和半金属中的至少一种。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的透明阻气膜的制造方法，其中，

利用从蒸镀法、溅镀法以及离子镀法中选出的真空加工法，使所述材料附着于所述树脂基板。

5.一种透明阻气膜的制造装置，该透明阻气膜具有成分不同的多种薄膜沿厚度方向层叠而成的透明阻气层，该透明阻气膜的制造装置的特征在于，

具有：腔室，其具有薄膜形成区域和薄膜非形成区域；蒸发源，其含有金属和半金属中的至少一种材料；以及输送装置，其用于输送长条带状的树脂基板，

在所述薄膜形成区域中设有数量与所述薄膜的种类数量对应的蒸发源，

多个所述蒸发源各自独立，且含有不同的材料，

多个所述蒸发源沿着所述长条带状的树脂基板的输送方向或者与输送方向正交的方向并排配置，

所述输送装置构成为，以使所述树脂基板交替地穿过所述薄膜形成区域和非形成区域的方式输送所述树脂基板。

6.根据权利要求5所述的透明阻气膜的制造装置，其中，

所述输送装置构成为，以螺旋状的输送轨迹输送所述长条带状的树脂基板。

7.根据权利要求5或6所述的透明阻气膜的制造装置，其中，

多个所述蒸发源沿着所述长条带状的树脂基板的输送方向并排配置。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的透明阻气膜的制造装置，其中，

在所述腔室内还具有用于产生等离子体的等离子体源和用于供给反应气体的反应气体供给装置。