[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板的制造方法和玻璃基板制造装置。

背景技术

通常，玻璃基板是由玻璃原料生成熔融玻璃后，经过将熔融玻璃成形 为玻璃基板的工艺而制成。上述工艺过程包括成形前对熔融玻璃进行处理 的步骤，例如，包括除去内含熔融玻璃的微小气泡的步骤(以下，也称澄 清)。澄清，是通过对澄清管的本体加热，同时使含有澄清剂的熔融玻璃 流经该澄清管本体，从而利用澄清剂的氧化还原反应去除熔融玻璃中的气 泡来进行。具体而言，是使粗熔化的熔融玻璃的温度进一步升高，并发挥 澄清剂的作用，使气泡浮出并脱气后，通过将温度下降，从而使得熔融玻 璃吸收未完全脱气而残留的较小泡沫。也就是说，澄清，包括使气泡浮出 并脱气的处理(以下，也称脱气处理或脱气过程)和使熔融玻璃吸收小气 泡的处理(以下，也称吸收处理或吸收过程)。

与成形前高温的熔融玻璃接触的部件，其内壁需要根据与该部件接触 的熔融玻璃的温度、所需的玻璃基板的品质等，由适当的材料构成。例如， 已知构成上述澄清管本体的材料，通常是使用铂族金属的单质或合金(专 利文献1)。铂族金属熔点高，对熔融玻璃的耐腐蚀性也优异。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2010-111533号公报

发明内容

发明要解决的问题

如果熔融玻璃通过由铂族金属制成内壁面的处理装置，则在与被加热 的内部表面的气相空间(含有氧气的环境)接触的部分上，铂族金属会作 为氧化物挥发。另一方面，铂族金属的氧化物会在处理装置的局部温度降 低的位置被还原，还原的铂族金属会附着在内壁面。附着在内壁面的铂族 金属有可能落到熔融玻璃上并混入其中，从而作为异物混入玻璃基板。

而且，随着近年的高精细化发展，来自上述铂族金属等的挥发物的聚 集体的异物混入熔融玻璃的问题，在品质要求日益严格的液晶显示器所代 表的显示器用玻璃基板上变得更大。

本发明的目的在于提供一种通过降低熔融玻璃处理装置的局部温度 下降的位置的周围环境之间的温度差，使其低于标准值，使得异物混入玻 璃基板的可能性减小，从而可以制造高品质的玻璃基板的玻璃基板制造方 法以及玻璃基板制造装置。

解决问题的方法

本发明具有如下方式:

(方式1)

一种玻璃基板的制造方法，是使用处理装置对熔融玻璃进行处理的玻 璃基板的制造方法，所述处理装置具有由内壁和熔融玻璃表面形成的气相 空间，且与所述气相空间接触的所述内壁的至少一部分由包含铂族金属的 材料构成，

在与所述处理装置的所述气相空间接触的区域，在处理熔融玻璃时形 成有高温区域以及温度比高温区域低的低温区域，

在所述处理装置的外部，设置有支撑所述处理装置、并将热从所述高 温区域传导至所述低温区域的传热介质，

调整所述传热介质的传热量，以使所述高温区域和所述低温区域的温 度差低于标准值。

例如，高温区域可以是处理装置的温度在1600℃以上的温度范围内 的区域，低温区域可以是处理装置的温度在小于1600℃的温度范围内的区 域。或者，高温区域可以是处理装置的温度在1620℃以上的温度范围内的 区域，低温区域可以是处理装置的温度在1590℃以下的温度范围内的区 域。

或者，也可以是，作为设置在处理装置上的设置有电极的区域的电极 区域以及设置有排气管的区域是低温区域，低温区域以外的区域或电极与 排气管之间的区域是高温区域。

其中，处理装置包括：熔化槽、澄清装置、搅拌槽、成形装置、在这 些设备管中传输熔融玻璃的传输管、以及将玻璃供给这些装置的供给管。 处理装置的处理包括：玻璃的熔化处理、熔融玻璃的澄清处理、搅拌处理、 成形处理、熔融玻璃的传输处理、以及供给处理。

所谓使高温区域与低温区域之间的温度差低于标准值，是指利用传热 介质的传热量调整高温区域与低温区域之间的温度差，使该温度差低于预 先设定的标准值。另外，标准值可以根据所需玻璃基板中的铂金贵金属的 聚集体量来确定。优选调节传热介质的传热量，以使高温区域的最高温度 为1600～1750℃，且低温区域的最低温度为1300～1600℃。通过使高温 区域与低温区域的温度差降低为标准值以下，可以降低高温区域挥发的铂 族金属在低温区域所聚集的量。