[发明专利]热电转换模块

权利要求书

1.一种热电转换模块，其具备配置在2个层叠基板之间的P型热电转换元件以及N型热电转换元件，

所述P型热电转换元件具备：

柱状的P型热电转换部；

绝缘体，其设置于所述P型热电转换部的侧面；和

扩散防止膜，其设置在所述P型热电转换部的与所述侧面不同的面即顶面上，

所述N型热电转换元件具备：

柱状的N型热电转换部；

绝缘体，其设置于所述N型热电转换部的侧面；和

扩散防止膜，其设置在所述N型热电转换部的与所述侧面不同的面即顶面上，

各所述层叠基板具备：

布线层，其通过所述扩散防止膜将所述P型热电转换部以及N型热电转换部电连接；和

接合材料，其将所述扩散防止膜与所述布线层进行接合，

在连结所述P型热电转换部或N型热电转换部的上侧以及下侧的顶面的方向上，所述扩散防止膜的顶面从所述绝缘体的上侧以及下侧的各顶面突出，

在所述方向上，在所述绝缘体上具有间隙。

2.根据权利要求1所述的热电转换模块，其中，

各所述层叠基板还具备层间绝缘膜，所述层间绝缘膜设置于在所述方向上的所述扩散防止膜与所述布线层之间，

所述层间绝缘膜具有位于所述扩散防止膜上的开口部。

3.根据权利要求2所述的热电转换模块，其中，

在与所述方向正交的第2方向上的所述扩散防止膜的截面积大于在所述第2方向上的所述开口部的截面积，

在所述第2方向上的所述P型热电转换部以及N型热电转换部的所述顶面的截面积大于在所述第2方向上的所述扩散防止膜的截面积。

4.根据权利要求2或3所述的热电转换模块，其中，

各所述层叠基板还具备包围所述接合材料的侧面的导电环。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的热电转换模块，其中，

各所述层叠基板还具备按照包围所述开口部的周围的方式贯通所述层间绝缘膜而设置的环状的孔。

6.根据权利要求5所述的热电转换模块，其中，

在与所述方向正交的第2方向上的所述孔的截面积的总面积为在所述第2方向上的所述层间绝缘膜的截面积的50％以下。

7.根据权利要求2～6中任一项所述的热电转换模块，其中，

所述层间绝缘膜的表面粗糙度比所述绝缘体的表面粗糙度更粗糙。

8.根据权利要求7所述的热电转换模块，其中，

所述层间绝缘膜的表面粗糙度与所述绝缘体的表面粗糙度之差为80μm以上。

9.根据权利要求2～8中任一项所述的热电转换模块，其中，

所述P型热电转换部以及N型热电转换部包含Bi-Te系材料，

所述绝缘体包含耐热玻璃或石英，

所述层间绝缘膜包含酰亚胺化合物或丙烯树脂。

10.根据权利要求2～9中任一项所述的热电转换模块，其中，

在与所述方向正交的第2方向上的所述扩散防止膜、所述P型热电转换部以及N型热电转换部、以及所述开口部的截面的形状为圆形，

在与所述方向正交的第2方向上，所述扩散防止膜的外径尺寸小于所述P型热电转换部或N型热电转换部的外径尺寸，并且所述开口部的内径尺寸小于所述扩散防止膜的外径尺寸。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的热电转换模块，其中，

所述P型热电转换部以及N型热电转换部的上侧以及下侧的各顶面，在所述方向上从所述绝缘体的上侧以及下侧的各顶面突出，

所述P型热电转换元件以及N型热电转换元件，在所述方向上在所述P型热电转换部以及N型热电转换部的上侧以及下侧的各侧面具有间隙。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的热电转换模块，其中，

所述热电转换模块还具有将在与所述方向正交的第2方向上相邻的所述P型热电转换元件以及N型热电转换元件之间隔开的第2间隙。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的热电转换模块，其中，

在所述间隙中，填充进行了减压的气体。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的热电转换模块，其中，

在所述间隙中，填充氩气。