[发明专利]密封滑动部件

权利要求书

1.一种密封滑动部件，具有相对于其它部件进行滑动的滑动面，通过该滑动面对流体进行密封，其特征在于，包括：

碳纤维，纤维的长度方向相对于所述滑动面大致平行取向；和

碳化硅，设置在多根所述碳纤维之间。

2.根据权利要求1所述的密封滑动部件，其中，形成有碳纤维束部，所述碳纤维束部为多根所述碳纤维的长度方向朝向大致同一方向的集合体，所述碳化硅形成在所述碳纤维束部包含的所述碳纤维之间。

3.根据权利要求2所述的密封滑动部件，其中，进一步包括非纤维碳，所述非纤维碳设置在一个所述碳纤维束部和与其邻接的其它所述碳纤维束部之间。

4.根据权利要求3所述的密封滑动部件，其中，在所述滑动面形成的多个所述碳纤维束部不规则地取向。

5.根据权利要求4所述的密封滑动部件，其中，在所述滑动面中，所述碳化硅以35％以上且小于85％的面积比存在。

6.根据权利要求5所述的密封滑动部件，其中，所述滑动面的算术平均粗糙度Ra为0.2μm以下。