[发明专利]无机膜及层积体

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有高折射率且能够抑制光学干涉的无机膜及将该无机膜层积在树脂等有机物上的层积体。

背景技术

在重量轻且自如弯曲的柔性设备中，基材、元件自身使用树脂等有机物。在使用由树脂等形成的柔性基材作为基材的所谓的柔性设备中，作为密封部件，需要除了具有阻气性及透明性以外还兼具柔性的阻气膜。

专利文献1公开了一种同时具有阻气性及柔性的阻气膜。在专利文献1中，为了提高阻气性，使用氧化锌锡。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特表2010-524732号广报

发明内容

然而，在专利文献1所公开的氧化锌锡的折射率高并且附加在基材膜、结合层(アンカーコート層)等树脂材料上的情况下，由于其与这些材料的折射率差而产生光学干涉。因此，存在光线透过率降低的问题点。

本发明的目的在于，提供一种在与树脂等有机物层积时也不会使光线透过率降低的无机膜及具有该无机膜的层积体。

本发明的无机膜具有：作为功能性膜的折射率梯度膜A，其由无机材料形成，折射率从一面向另一面由n1向n2(n1＜n2)连续变化；作为功能性膜的折射率梯度膜B，其由无机材料形成，折射率从一面向另一面由n3向n4(n4＜n3)连续变化；折射率梯度膜B从上述折射率为n3的面侧直接或间接地与折射率梯度膜A的折射率为n2侧的面相连而层积；n2与n3的差为0.1以下，所述无机材料为含有Si与Al中的至少一种、Zn、以及Sn的复合氧化物。

在本发明的无机膜中，优选的是，所述折射率梯度膜A与折射率梯度膜B中的至少一方由含有Si、Zn以及Sn的复合氧化物形成。

在本发明的无机膜中，优选的是，在含有所述Si、Zn以及Sn的复合氧化物中Sn相对于Zn和Sn的总和的比Xs满足70＞Xs＞0。

在本发明的无机膜中，优选的是，所述折射率梯度膜A与折射率梯度膜B中的至少一方由含有Al、Zn以及Sn的复合氧化物形成。

在本发明的无机膜中，优选的是，所述折射率梯度膜A由含有Al、Zn、以及Sn的复合氧化物形成，所述折射率梯度膜B由含有Si、Zn以及Sn的复合氧化物形成。

本发明的层积体是在有机膜上构成依照本发明所构成的无机膜、并在有机膜的折射率为n0时为n0≤n1的层积体。

在本发明的层积体中，优选的是，在所述无机膜上形成有树脂层，在树脂层的折射率为n5时，为n4≥n5。

本发明的无机膜及层积体具有如上所述的结构，在折射率梯度膜A上，折射率沿膜厚方向由n1向n2连续增大，而且，在折射率梯度膜B上，折射率由n3向n4连续减小，由于n2与n3的差为0.1以下，所以能够抑制因折射率差导致的反射。因此，能够防止光线透过率的降低。因此，作为折射率梯度膜A及折射率梯度膜B，即便使用附加各种功能而形成的折射率高的材料，也能够防止光线透过率的降低。由此，能够同时具有功能性与高光线透过率。

附图说明

图1是表示具有本发明一实施方式的无机膜的层积体的剖面图；

图2是表示图1所示的层积体各层的折射率的剖面图；

图3是表示为了形成本发明的无机膜而使用的装置的一例的结构的图。

附图标记说明

11  基材；

12  平坦化层；

13  无机膜；

13a 折射率梯度膜；

13b 折射率梯度膜；

14  树脂层；

30  基材膜；

31  RtoR溅射装置；

32  卷出卷绕室；

33  卷出轴；

34  卷绕轴；

35  导辊；

36  导辊；

37  辊筒；

38  真空泵；

39  真空泵；

40  成膜室；

41  靶材(ターゲット)；

42  靶材；

43  双极电源(バイポーラー)；

44  氩气供给线路；

45  氧气供给线路。

具体实施方式