[发明专利]位置检测器的精度补正方法

权利要求书

1.一种位置检测器的精度补正方法，其使以一定间距图案配置有被测定对象的一次侧部件与作为测定部的二次侧部件的相对位置，以一定速度或角速度变化，由此进行位置的检测，所述位置检测器的精度补正方法的特征在于，

存储所述二次侧部件的相对位置在移动通过所述被测定对象的第n个阶段至到达第n+1个阶段为止的1间距的长度或角度p的期间，以一定时间间隔Δt为单位所检测出的间距范围内的时刻i·Δt时的位移量G_n[i]，其中，i为取样编号0～N-1的自然数，

将移动所述第n个阶段至所述第n+1个阶段的所述p的时间设为T，根据

S＝p/T

求出平均速度或平均角速度S，并根据

E_n[i]＝G_n[i]-i·S·Δt-G_n[0]

求出所述第n个阶段至所述第n+1个阶段的间距内的内插误差E_n[i]，

在将当前的所述二次侧部件的相对位置即检测位置设为第m个阶段至第m+1个阶段的间距范围内的检测位置G_m，且n-a≤m≤n+a时，求出|G_m-G_n[i]|成为最小的i＝I的内插误差E_n[I]，并根据

X′＝p·m+G_m-E_n[I]

求出所述被测定对象的自零点位置起的位置即检测位置X′，其中，a为预先规定的整数。

2.根据权利要求1所述的位置检测器的精度补正方法，其特征在于，

只要在先前取得k次所述内插误差E_n[i]并求出平均内插误差E_na[i]，便可根据

E_na′[i]＝(E_n[i]+k·E_na[i])/(k+1)

求出本次包含所述内插误差E_n[i]的平均内插误差E_na′[i]，

求出|G_m-G_n[i]|成为最小的i＝I的平均内插误差E_na′[I]，并根据

X′＝p·m+G_m-E_na′[I]

求出所述检测位置X′，其中，k为整数。