[发明专利]流量控制用的多孔型孔板及使用该孔板的流量控制装置有效
| 申请号： | 201480004462.9 | 申请日： | 2014-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN105102872B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 平田薰;日高敦志;永濑正明;土肥亮介;池田信一;西野功二;杉田胜幸;广濑隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;F16L55/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)11387 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流量 控制 多孔 型孔板 使用 装置 | ||
1.一种流量控制用多孔型孔板，其特征在于：
在流体的流量控制用孔板上，将规定流量的流体的流通所需的一个孔口的开口面积加以分割，设置成具有与所述开口面积相等的总开口面积的多个孔口。
2.根据权利要求1所述的流量控制用多孔型孔板，其特征在于：
所述多个孔口通过冲压加工形成。
3.根据权利要求1所述的流量控制用多孔型孔板，其特征在于：
所述孔板的厚度为20～200μm，并且所述孔板为压力控制式流量控制装置用的孔板。
4.根据权利要求1所述的流量控制用多孔型孔板，其特征在于：
所述孔板的厚度为20～200μm，所述多个孔口各自的口径为0.010～0.200mm，所述多个孔口的数量为2～100个。
5.根据权利要求1所述的流量控制用多孔型孔板，其特征在于：
所述多个孔口各自的纵截面的平面形状为由矩形部分和梯形部分构成的形状。
6.根据权利要求5所述的流量控制用多孔型孔板，其特征在于：
通过研磨对所述孔板的穿设有所述多个孔口的部分的背面精加工。
7.根据权利要求1所述的流量控制用多孔型孔板，其特征在于：
在孔口上游侧压力(P1)和孔口下游侧压力(P2)的比P2/P1为气体的临界膨胀条件成立时的压力比以下的条件下，气体的流量与孔口上游侧的气体压力(P1)成正比例变化。
8.一种压力控制式流量控制装置，其特征在于：
在使用了孔板的压力控制式流量控制装置中，所述孔板为权利要求1-7任一项所述的流量控制用多孔型孔板。
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